PBNるつぼ LEC用信越化学工業株式会社

仕様

向いている所：化合物半導体の単結晶の育成

種類

PBN（熱分解窒化ホウ素）

形状

CVDで作るPBN（熱分解窒化ホウ素）のるつぼ

粒子径・大きさ

最大直径400mm、高さ560mm

純度

99.999%⁠⁠⁠以上

主な用途

GaAs・InPなど化合物半導体の単結晶製造、金属の溶融

荷姿・⁠⁠⁠容量

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

密度・⁠⁠⁠比重

1.99g/cm³（標準の低密度品）

耐熱

2400℃（不活性ガス中）

熱伝導

a方向50〜60W/m・K、c方向1.8W/m・⁠⁠⁠K

不純物

Al 1.0ppm未満、Na・Fe 0.3ppm未満

特長

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

同社はVGF・ボート・MBE用のるつぼも作っています。

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