熱電対（T/C）付ウェハー坂口電熱株式会社

仕様

向いている所：半導体装置でウェハー面の温度を見る

方式

熱電対

測れる温度

常温〜1,200⁠℃

精度・許容差

—公式資料で確認できず

センサー・規格

K、R熱電対ほか

形・大きさ

300mmウェーハに対応

応答

—公式資料で確認できず

出力・つなぎ方

専用コネクターなど要望に合わせる

価格

—公式資料で確認できず

保護管・材質

基板 シリコン、ガリヒソ、ガラス、アルチックほか

取り付け

—公式資料で確認できず

測る距離と範囲

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

シース0.25mm以上、素線0.10mm以上。熱電対の先端取付部に2.5N以上の力をかけないよう公式に注意書きがある。

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