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DIFFRACTION-GRATING / MZ-38886

透過型回折格子 Ta/SiN型・SiN型NTTアドバンステクノロジ株式会社

VUV・EUV・軟X線で使える、ステンシル構造の透過型回折格子です。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所：高次高調波・EUVの分光実験

回折格子の種類
透過型
方式
ステンシル構造の透過型
溝本数
100〜2400本/mm
波長
VUV・EUV・軟X線
大きさ
2×2mm（格子）
基板
Ta/SiN、SiN（各100nm⁠）
価格
—公式資料で確認できず
コーティング
—公式資料で確認できず
回折効率
—公式資料で確認できず
ブレーズ角・入射角
—公式資料で確認できず
分散
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

型式は無く、構造（Ta/SiN 2層型・SiN型）で選ぶ。特注品にも応じる。

口コミ

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出典（2026年10月29日確認）

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