ガルバノメータ 62xxKシリーズ

ノヴァンタ・ジャパンが扱うCambridge Technologyの62xxKシリーズは、ミラーの開口部が3mmから50mmまであります。細いビームから太いビームまで、同じシリーズで選べます。

公式の製品ページに値段は載っていないので、見積もりを取る必要があります。ミラーの開口部・波長・スキャン角度・台数・サーボドライバが要るかを伝えると早く返ってきます。

最大スキャン角度は40°で、Novantaは角度を光学角で書いています。機械角で書くメーカーと比べるときは書き方をそろえます。

小角度のステップ応答は100〜200μsです。0.1°刻みで最終位置の99%以内に入るまでの時間で、ミラーのサイズによって変わります。

CO2（9.2〜10.6µm）⁠・ファイバー（1030〜1080nm）⁠・グリーン（532nm）⁠・⁠U⁠V（355nm）のミラーを選べます。

開口部と波長の選び方は同じで、温度によるずれが違います。最大スケールドリフトは62xxKが50ppm/°C、83xxKが15ppm/°C、ゼロドリフトは62xxKが15μrad/°C、83xxKが5μrad/°Cです。

8µradです。62xxKも83xxKも同じ値です。

Cambridge Technology製のサーボドライバと組み合わせます。仕様のステップ応答も、このサーボドライバを使った値です。

微細加工、OCT（光干渉断層計）、切断・溶接、マーキング・コーディングの装置に使われています。

Novantaの日本の拠点は東京都品川区南大井にあります。公式サイトのお見積り依頼から、開口部・波長・台数を伝えて問い合わせます。