エネサーモ PH

エネサーモ PHは、半導体装置の排気配管の析出防止に使う人向けです。エネサーモ PHは、シロキサンが出ないことを確かめた低アウトガスの作りで、ヒーターの施工から制御盤の設置、二次配線まで頼めます。最高使用温度は200℃で、さらに高温の仕様も設計できます。

エネサーモ PHの最高使用温度は200℃、加熱する物はCVD・ドライエッチング装置の排気配管などです。留め方は着脱自在、クリーン性は低発塵、シロキサン不発生を確認です。

半導体装置の排気配管の析出防止ならエネサーモ PH、配管ライン全体を均熱にしたいなら河合電器製作所の配管ヒーターです。エネサーモ PHの最高使用温度は200℃、加熱する物はCVD・ドライエッチング装置の排気配管などです。河合電器製作所の配管ヒーターの最高使用温度は200℃、加熱する物は配管・バルブ・真空ポンプです。

半導体装置の排気配管の析出防止ならエネサーモ PH、チャンバーから計器まで低発塵でなら東京技術研究所のクリーンルーム用マントルヒーターです。エネサーモ PHの最高使用温度は200℃、加熱する物はCVD・ドライエッチング装置の排気配管などです。東京技術研究所のクリーンルーム用マントルヒーターの最高使用温度は200℃・400℃、加熱する物はチャンバー本体、配管・バルブ・計器類です。

エネサーモ PHはニチアス株式会社の製品です。登記上の本店は〒104-0032 東京都中央区八丁堀1丁目6番1号。ニチアスの主な製品分野はグランドパッキン・ダイヤフラム・シールテープ・Oリングです。