ケミカルガード TOMBO No.8803‑HC・HA・HTニチアス株式会社

仕様

向いている所：半導体クリーンルームの分子状汚染対策

区分

ケミカルフィルタ

捕集効率

—公式資料で確認できず

初期圧力損失

—公式資料で確認できず

定格風量

—公式資料で確認できず

寸法

—公式資料で確認できず

ろ材

吸着材・機能材（ハニカムの壁内に担持）

形

ハニカム形

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

—公式資料で確認できず

枠

—公式資料で確認できず

主な使い道

クリーンルーム・半導体製造装置の低濃度ガス除去

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

種類は製品ページの記載：HC＝塩基性ガス（⁠アンモニア、トリメチルアミンなど⁠）⁠、HA＝酸性ガス（SOx、NOx、Clなど⁠）⁠、HT＝有機ガス（DOP、DEP、シロキサンなど高沸点有機物）。2013年のニチアス技術時報（362_08.pdf）には、パネル形の製作範囲（最小W130×H130×D25mm、最大W1,200×H860×D130mm⁠）⁠、使用温湿度18〜35℃・40〜60%RH、吸着材（HC＝イオン交換樹脂、HA＝金属炭酸塩添着活性炭、HT＝活性炭⁠）⁠が載るが、現行のハニカム形と同じ仕様か確かめられないため values には入れていない。2014年の技術時報とカタログT24.pdfは文字が化けて読めない。価格は非公開。

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