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BLAST-SOUCHI / MZ-12102

クリーンブラスター CS‑750フジ・インバック株式会社

半導体製造装置の部品を洗う、予備室付きのクリーンブラスターです。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：半導体製造装置の部品のクリーニング

方式
キャビネット型（エアーブラスト）
吹き付け方
エアーブラスト（研磨材を循環）
処理できる大きさ
H350×D450×L500mm
載せられる重さ
—公式資料で確認できず
研磨材
#80〜#200
空気量
450L/min
電源・⁠⁠⁠動力
AC100V
本体の寸法
W1600×D1050×H2000mm
本体の質量
350kg
価格
—公式資料で確認できず
研磨材タンク
—公式資料で確認できず
集じん
—公式資料で確認できず
主な用途
イオン注入装置のイオンソース・治具のクリーニング

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

上位のCS‑801・CS‑1000は生産中止。

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出典（2026年10月14日確認）

  1. フジ・インバック株式会社 公式
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