九州・沖縄地方のPVDの会社2社

硬質皮膜・溶射を受託している会社の比較

会社（所在地）	強み	DLCDLCコーティング	PVDPVD	CVDCVD	設備・大きさ	公式ページ
ナノテック株式会社福岡県糟屋郡須恵町	九州工場で工具や金型へのDLC・PVD成膜を行います。 DLCは直径400・長さ3,000mmまで TiAlNを処理温度300℃で成膜	○	○	—	大きさ 直径400・長さ3,000mm（DLC）	公式サイト
株式会社九州セミコンダクターKAW大分県杵築市	山香工場で基板への絶縁膜や金属膜の受託成膜を行います。 1枚の試作から量産まで受託 CVDのSiO2膜厚は6μmまで対応	—	○	○	材質 Si・SiC・GaAs・GaN・サファイア・ガラス・セラミックス・金属・⁠⁠⁠樹脂 大きさ 直径304.8mm（スパッタ）・幅130・奥行130mm（CVD角基板） 設備 プラズマCVD装置 2台⁠・スパッタ装置 3台⁠・膜厚測定器 1台 ロット 1枚の少量試作から量産まで 認証 ISO 9001・ISO 14001	公式サイト

ナノテック株式会社福岡県糟屋郡須恵町

• 九州工場で工具や金型へのDLC・PVD成膜を行います。
• DLCは直径400・長さ3,000mmまで
• TiAlNを処理温度300℃で成膜

できる処理

• DLCコーティング
• PVD

大きさ

直径400・長さ3,000mm（DLC）

公式サイト

株式会社九州セミコンダクターKAW大分県杵築市

• 山香工場で基板への絶縁膜や金属膜の受託成膜を行います。
• 1枚の試作から量産まで受託
• CVDのSiO2膜厚は6μmまで対応

できる処理

• PVD
• CVD

材質

Si・SiC・GaAs・GaN・サファイア・ガラス・セラミックス・金属・⁠⁠⁠樹脂

大きさ

直径304.8mm（スパッタ）・幅130・奥行130mm（CVD角基板）

設備

プラズマCVD装置 2台⁠・スパッタ装置 3台⁠・膜厚測定器 1台

ロット

1枚の少量試作から量産まで

認証

ISO 9001・ISO 14001

公式サイト

○は公式サイトに書いてある処理、—は書いていない処理です（できないとは限りません）。並び順は都道府県ごと、その中は会社名の五十音順です。値は各社の公式サイトで確かめたもので、書いていないものは「公式に記載なし」としています。

1. 母材・熱処理状態・使用温度
2. 摩耗・摩擦・腐食などの改善目的
3. 処理範囲・膜厚・寸法公差
4. 密着性の評価方法・数量・⁠⁠⁠納期

部品の表面に皮膜を形成し、摩耗や摩擦、腐食などに対する性質を変える加工です。DLCなどの硬質膜を形成する方法や、加熱した金属・セラミックスなどを吹き付けて皮膜を作る溶射があります。

DLCコーティング

炭素を主成分とする硬い薄膜を部品の表面に付け、摩擦や摩耗を抑えます。

PVD

蒸発やスパッタリングなどで材料を部品表面に付着させ、耐摩耗性などを高めます。

CVD

原料ガスの化学反応で部品の表面に皮膜を形成し、硬さや耐摩耗性などを高めます。

溶射

加熱した金属やセラミックスなどを部品表面に吹き付け、摩耗や腐食に強い皮膜を作ります。

出典：産業技術総合研究所 DLC膜のはく離特性の評価技術の開発・表面技術協会 PVDによる硬質膜形成とその工業的応用・日本溶射学会 溶射の原理・学会案内

• 福岡県1社
• 大分県1社

九州・沖縄地方の硬質皮膜・溶射（すべての処理）全国のPVD