- 山香工場で
基板への 絶縁膜や 金属膜の 受託成膜を 行います。 - 1枚の
試作から 量産まで受託 - CVDの
SiO2膜厚は 6μmまで対応
- 材質
- Si・
SiC・ GaAs・ GaN・ サファイア・ガラス・ セラミックス・金属・樹脂 - 大きさ
- 直径
304.8mm (スパッタ)・ 幅130・ 奥行130mm (CVD角基板) - 設備
- プラズマCVD装置 2台・
スパッタ 装置 3台・ 膜厚測定器 1台 - ロット
- 1枚の
少量 試作から 量産まで - 認証
- ISO 9001・
ISO 14001

部品の
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| 会社 | 強み | PVD | CVD | 設備・ | 公式ページ |
|---|---|---|---|---|---|
株式会社 |
| ○ | ○ |
| 公式サイト |
○は
答えは、
九州
九州
DLCは
膜の
金属や
部品の
出典:産業技術総合研究所 DLC膜のは
出典