クリーンペーパー（無塵紙）とは？種類・発塵量・値段と選び方

この記事の答え

クリーンペーパーは、揉んだり破ったりしても紙粉が出にくい、クリーンルーム用の紙（無塵紙）⁠で⁠す⁠。選ぶときは「何に使うか」「発塵の値と測り方」「サイズと入数」の3つを先に決めます。書いたり印刷したりするなら記録・印刷用、ウエハーや電子部品の間に挟むなら合紙用、静電気を嫌う部品のまわりには導電性を選びます。

クリーンペーパーとは

クリーンペーパーは、半導体・電子部品・精密部品・製薬などのクリーンルームで使う、紙粉が出にくい紙です。無塵紙とも呼びます。一般のコピー用紙は、揉む・擦る・破るだけで大量の紙粉が出るため、粉塵の量を厳しく管理するクリーンルームには持ち込めません。

無塵紙は、長い繊維のパルプに樹脂を含浸して、繊維が紙から落ちないようにしています。タニムラの測定では、一般上質紙のもみの発塵は約85,600個ですが、同じ社のクリーンペーパーCPCは0個（0.3μm以上の実測値）で⁠す⁠。

3つの種類

記録・印刷用は、クリーンルームで作業記録や指示書を書いたり、コピー機やプリンターで印刷したりする紙です。王子エフテックスのOKクリーンRN、タニムラのCPC、桜井のニュースタクリンRC.PPC、アズワンのAPクリーンペーパーSPがあります。
合紙用は、ウエハー・ガラス基板・リードフレーム・電子部品の間に挟む紙です。タニムラのMK-WSFはウエハーに合わせた丸い形で、王子エフテックスのOKクリーンLFは金属を傷めるイオン分を低く管理しています。
導電性は、導電ファイバーを練り込んで静電気をためない紙です。タニムラのMK-CCPは、表面電気抵抗値が表1.0×10の5乗Ωです。

発塵量の見方

王子エフテックスのOKクリーンRNは、揉み2.1・擦り2.9・破り2.6個/0.02cf（当社測定値）⁠で⁠す⁠。SEMI法の条件をより厳しくした王子法で測っています。
タニムラのCPCは、もみ0・こすり6・破り5個/CF（0.3μm以上の実測値）で⁠す⁠。
アズワンのAPクリーンペーパーSPは、擦り6・揉み8・引裂揉み14個/cf（SEMI G67-0996で測った参考値）⁠で⁠す⁠。
単位と測り方がメーカーで違うので、数字をそのまま並べて順位は付けられません。同じ試験の値を、単位をそろえて見比べます。

坪量・サイズ・色

坪量は64g/㎡と72g/㎡が多く、桜井のニュースタクリンRC.PPCには100g/㎡もあります。
サイズはA4・A3が中心で、タニムラのCPCはA0・A1・B1などの大判まで規格品があります。A0はロール紙です。
色は、王子エフテックスのOKクリーンRNが6色、桜井のニュースタクリンRC.PPCはブルーのほか6色、タニムラのCPCはライトブルーです。一般紙と色で分ければ、普通の紙が紛れ込んでも見分けられます。

印刷するときの注意

記録・印刷用の無塵紙は、コピー機やプリンターで使えます。王子エフテックスのOKクリーンRNは、一般のコピー機とインクジェットプリンターで使えます。
導電性の紙は帯電しないため、タニムラのMK-CCPはレーザープリンターやコピー機での印刷はテストが必要です。

合紙を選ぶときの注意

金属に触れる合紙は、中性紙やイオン分を管理した紙にします。紙に残ったイオン分は、金属の変色やさびのもとになります。
ウエハーの合紙は、インチ・フラットかエンボス付きか・一般か導電性かで型番が変わります。タニムラのMK-WSFは、12インチ（直径300mm）⁠ま⁠で500枚単位です。

値段

桜井のニュースタクリンRC.PPC（SC75RBA4・A4・72g/㎡）は、1ケース（250枚×10冊）で34,870円（税込定価）⁠で⁠す⁠。
アズワンのAPクリーンペーパーSP（A4・72g/㎡）は、1箱（250枚×10袋）で16,800円（税抜・標準価格）⁠で⁠す⁠。
王子エフテックスとタニムラは値段を公式に出していないので、坪量・サイズ・色・枚数を伝えて見積もりを取ります。

捨て方

無塵紙は紙なので、一般の紙として燃やして捨てられます。
王子エフテックスのOKクリーンRNは離解性があり、桜井のニュースタクリンRC.PPCは100%離解できるので、古紙に回せます。

主なメーカー

王子エフテックスはパルプからの一貫生産で無塵紙を作るメーカーです。タニムラは大判やウエハーの形への加工まで出し、桜井とアズワンは自社ブランドの無塵紙を公式の通販で売っています。

出典

クリーンペーパー（無塵紙）⁠と⁠は⁠？種類・発塵量・値段と選び方