レーザーミラーとは？レーザー加工機・計測機器で使うレーザーミラー（誘電体多層膜ミラー）の種類（単波長・高耐力・広帯域・CO2用）と、反射率・損傷閾値・入射角・価格の選び方

この記事の答え

レーザーミラーは、レーザーの光を決めた波長で高く返す平面ミラーです。誘電体多層膜ミラーとも呼びます。返す波長の幅と耐える光の強さで、単波長・多波長の型、高耐力の型、広帯域の型、CO2レーザー用の型の4つに分かれます。選ぶときは「使う波長」「損傷閾値」「入射角」の3つを先に決めます。

レーザーミラーとは

レーザーミラーは、レーザー加工機・計測機器・実験の光学系で、レーザーの光路を折り曲げる平面ミラーです。ガラスや石英の基板に屈折率の違う膜を重ね、決めた波長を高く返します。光伸光学工業の解説では、金属膜のミラーは吸収で反射率が90%程度にとどまり、誘電体の膜のほうが反射率と耐久性が高いです。

比較ページには、自社で作るか自社のブランドで出すメーカーのレーザーミラーを、型番の単位で載せています。海外ブランドを売る商社の品、アルミ蒸着のミラー、ダイクロイックミラーは載せていません。

単波長・多波長（レーザーライン用）は、決めた波長だけを返します。中央精機のYAMR-532W-25、ソーラボのNB1-K13は1064nmと532nmの2波長用、エドモンドの#47-323は355nm用です
高耐力型は、損傷閾値を上げて強い光に耐えます。シグマ光機のTFMHP-25.4C05-1064、光伸光学工業のLMC532/1064、東海光学の高出力レーザ用ミラーがこの型です
広帯域型は、広い帯域をまとめて返します。渋谷光学のS-BBMR400/1200-Bは400〜1200nm、中央精機のLMR-300-25.4は300〜550nmです
CO2レーザー用は、10.6μmの光をシリコンや銅の基板で返します。住友電工ハードメタルのゼロシフトミラーRI 38.1-5.1-EZがこの型です

膜は入射角を決めて設計するので、設計の角度で使います。シグマ光機のTFMとエドモンドの#47-323は45°用、ソーラボのNB1-K13と中央精機のLMR-300-25.4は0〜45°用です
渋谷光学のS-BBMR400/1200-Bは、0〜50°で使えます
基板は、中央精機のYAMR-532W-25が合成石英、シグマ光機のTFMがBK7、中央精機のLMR-300-25.4がパイレックスです