GUIDE / SHINKU-HOSE

真空用ホースとは？真空ポンプ・真空配管をつなぐ真空用ホース（真空フレキ）の種類（KF・ICF・JIS・パイプエンド）と、リーク量・耐熱・長さ・価格の選び方

真空ポンプや真空チャンバーをつなぐ真空用ホース（真空フレキ・フレキシブルチューブ）の4つの種類、KFとICFの違い、Heリーク量とベーキング温度、圧力をかけるときのブレード付き、長さと注文の仕方、値段を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月10日更新

この記事の答え

真空用ホースは、真空ポンプや真空槽のあいだを曲げてつなぐステンレスの蛇腹の管です。真空フレキ・真空用フレキシブルチューブとも呼びます。両端のつなぎ方で、KF（NW）フランジ形・ICF（コンフラット）フランジ形・JIS（VG・VF）フランジ形・パイプエンド形に分かれます。選ぶときは「相手のフランジ規格」「真空の高さとベーキング」「口径と長さ」の3つを先に決めます。

真空用ホースとは

真空用ホースは、真空ポンプ・真空チャンバー・真空配管のあいだを、曲げてつなぐステンレスの蛇腹の管です。装置を組み立てるときの配管の位置ずれや、ポンプの振動を逃がします。中が真空・外が大気圧で使う作りです。

比較ページには、日本の会社が自社で作る金属の真空用ホースを、品番の単位で載せています。工場の一般配管のフレキシブルホース、ゴム・樹脂の真空排気ホース、商社が売る他社製品は載せていません。

4つの種類

KF（NW）フランジ形は、Oリング付きのセンターリングをはさみ、クランプで留めます。工具なしで何度もつなぎ直せます。例は昭和螺旋管製作所のNWフレキシブルチューブ、三元ラセン管工業のVKF025、テクノフレックスのVNW25S、コスモ・テックのNW25FXT500です
ICF（コンフラット）フランジ形は、金属ガスケットをボルトで締める完全金属シールです。超高真空とベーキングに使います。例は入江工研のVFP2070、テクノフレックスのVCF7025S、コスモ・テックのICF70FXT500、昭和螺旋管製作所のICFフレキシブルチューブです
JIS（VG・VF）フランジ形は、JIS B2290の真空フランジVGとVFを両端に付けた形です。例は南国フレキ工業のNK-2300Vと、三元ラセン管工業のVGF025です
パイプエンド形は、両端が管のままで、くい込み継手などでつなぎます。例は南国フレキ工業のNK-2300PTと、入江工研のVFP4006です

リーク量と真空の高さ

入江工研のVFP2070、三元ラセン管工業、テクノフレックスのVCF7025Sは、Heリーク量を1×10-9Pa・m3/s以下としています
昭和螺旋管製作所は、NWとICFのどちらも1.0×10-9Pa・m3/s以下です
南国フレキ工業のNK-2300VとNK-2300PTは、許容リーク量を1.33×10-10Pa・㎥/s以下としています
テクノフレックスのVNW25Sは5×10-8Pa・m3/s以下、入江工研のVFP4006は1×10-7Pa・m3/s以下です

耐熱とベーキング

昭和螺旋管製作所のICFフレキシブルチューブは、Oリングを使わない完全金属シールで、最大450℃のベーキングにかけられます
入江工研のフレキシブルチューブは、常温で使い、ベーキング時は最大250℃です
南国フレキ工業のNK-2300Vは-15〜150℃、NK-2300PTは-196〜300℃で使えます
KFとJISはOリングでシールするので、ICFほどの高い温度でベーキングできません

圧力をかけるときと、曲げ方

ブレードなしの真空用ホースは、中が真空・外が大気圧で使う作りです。中に圧力がかかる所はブレード付きを選びます
コスモ・テックは、ブレードなしの耐圧参考値を1/4インチで0.5MPa程度としています
ねじれは吸収できません。曲げる向きで付け、最小曲げ半径より小さく曲げないようにします。テクノフレックスのVNW25Sは90mm、コスモ・テックのNW25FXT500は固定の曲げ半径60mmです