PFAチューブとは？半導体・薬液配管に使うPFAチューブの種類（一般・高純度・帯電防止）と、耐熱温度・耐圧・曲げ半径の選び方

PFAチューブとは

PFAチューブは、PFA（パーフルオロアルコキシアルカン）を溶かして押し出したチューブです。透明で中の流れが見え、ほとんどの薬品・溶剤に侵されません。半導体製造装置の薬液ライン、超純水の配管、化学プラントや理化学機器の配管に使います。フッ素チューブ・PFAパイプとも呼びます。

比較ページには、日本の会社が自社で作るか自社ブランドで売るPFAチューブを、外径6mm・内径4mmの太さでそろえて載せています。電線を覆う熱収縮チューブ、PFAの原料、シリコーンゴムのチューブは別のページで扱います。

3つの種類

• 一般グレードは、汎用のPFA樹脂で押し出したチューブです。淀川ヒューテックのPFAチューブ7000、中興化成工業のTUF-200、潤工社のTAがこれにあたります
• 高純度・内面平滑は、溶出するフッ素イオンを減らした原料を使い、内面を滑らかにしたチューブです。日星電気のMCチューブ、ニチアスのPFA-HGチューブ、SMCのTL/TIL、PILLARのピラフロンPFAチューブ、淀川ヒューテックの7202があります
• 帯電防止は、導電性の層やストライプを付けて静電気をためないチューブです。日星電気のISチューブ、ニチアスのPFA-ASチューブがあります

使用温度

• 中興化成工業のTUF-200は、-40〜260℃です
• SMCのTL/TILは、固定使用で-65〜260℃です
• 潤工社のTAとTAHは、使用温度範囲が-65〜180℃です
• 温度が上がると耐圧は下がります。中興化成工業の資料では、破壊圧力は100℃で約1/2、200℃で約1/4になります

耐圧と曲げ半径

• 中興化成工業のTUF-200は、内径4mm×外径6mmで破壊圧力6.9MPa、常用圧力2.3MPa、最小曲げ半径20mmです
• SMCのTL0604は、破壊圧力6.9MPa、20℃以下の最高使用圧力1.0MPa、曲げ半径の推奨使用値35mmです
• 淀川ヒューテックの6×4は、破壊圧力5.9MPa、最小曲げ半径35mmです
• 破壊圧力と曲げ半径は各社の測定値で、保証値ではありません。SMCは直管2mには曲げ半径の値を当てはめていません

高純度品の見分け方

• 日星電気のMCチューブは、内面がRa0.03μmで、一般PFAチューブのRa0.17μmより滑らかです。SEMI F57規格に適合しています
• ニチアスのPFA-HGチューブは、内表面がRt0.2μm（実測値）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• SMCのTL/TILは、清浄度ISOクラス3で出荷します
• 中興化成工業は、原料不足で半導体樹脂グレードの新規受注を止めています。半導体用は納期を先に確かめます

帯電防止品を使う場面

• 流れの速い薬液や超純水では、流体との摩擦で静電気がたまり、チューブの絶縁破壊や火花放電が起きることがあります
• 日星電気のISチューブは、外表面の帯電量が10Vで、従来の開発品の1000Vより低く抑えています
• ニチアスのPFA-ASチューブは、内周と外周に導電性PFAのストライプを入れています

選ぶ順番

1. 流すものを決めます。一般の薬品・純水なら一般グレード、半導体の薬液・超純水なら高純度品です
2. 静電気が心配なら帯電防止品にします
3. 使う温度と圧力から、破壊圧力と最高使用圧力を確かめます
4. 引き回しの曲げ半径を、最小曲げ半径より大きく取ります
5. ミリとインチのどちらの系統かを、継手に合わせて決めます
6. 長さ（10m・50m・100m巻など）を決めて見積もりを取ります