GUIDE / BELLOWS-PUMP

ベローズポンプとは？半導体・化学の工場で使うベローズポンプの種類（空気駆動・低脈動・定量）と、吐出量・液温・材質・価格の選び方

蛇腹（ベローズ）を伸び縮みさせて薬液を送るベローズポンプの3つの種類、ダイヤフラムポンプとの違い、脈動の抑え方、吐出量・液温・供給空気圧・接液部の材質の見方、価格の出し方をまとめました。

2026年11月5日更新

この記事の答え

ベローズポンプは、蛇腹（ベローズ）を伸び縮みさせて、薬液を吸って吐き出すポンプです。半導体・液晶・化学の工場では、接液部をPTFE・PFAで作った型で薬液・純水・スラリーを送ります。空気で動かす標準・大流量の型、脈動を打ち消す低脈動の型、モーターで決まった量を入れる定量の型に分かれます。選ぶときは「最大吐出量」「液温と空気圧」「脈動の抑え方」の3つを先に決めます。

ベローズポンプとは

ベローズポンプは、フッ素樹脂などでできた蛇腹を往復させて、液を吸い込んで吐き出す容積式のポンプです。回る軸がないので軸封部がなく、液が外に漏れません。摺動する部分もないので、液が来ていない空運転にも耐えます。

半導体の薬液供給では、接液部をPTFEとPFAで作り、金属を液に触れさせない型を使います。サンゴバンのFuron A2ポンプは、接液部にOリングも金属部品も使っていません。

比較ページには、日本法人のある会社が自社や自社グループで作るベローズポンプを、各社の代表の型の単位で載せています。輸入販売元・代理店が売る海外ブランド、ダイヤフラムポンプ、マグネットポンプ、塗料用のベローズシールポンプは載せていません。

3つの種類

空気駆動（標準・大流量）は、圧縮空気で2つのベローズを交互に動かします。PILLARのPKシリーズは最大121L/min、イワキのFS-100NFは最大100L/minです
低脈動は、ベローズの動きを制御したり、アキュームの機能を組み込んだりして脈動を小さくします。イワキのFLP-75WとPILLARのPRSシリーズがこの型です
モーター駆動（定量）は、モーターでベローズを動かして決まった量を入れます。日機装エイコーのGY型は、酸・アルカリの中和や凝集剤の注入に使います

ダイヤフラムポンプとの違い

どちらも往復で送る容積式で、膜を動かすのがダイヤフラムポンプ、蛇腹を伸び縮みさせるのがベローズポンプです
イワキはFW/FW-Hシリーズで、ベローズ寿命がダイヤフラムタイプの3〜4倍と案内しています
サンゴバンのFuron A2ポンプも、作動数が同種のダイヤフラムポンプより少なく、長寿命になるとしています

脈動の抑え方

イワキのFLP-75Wは、ベローズの動く位相を制御して、ダンパーを付けずに脈動を抑えます
PILLARのPSシリーズは、ポンプとアキュームの機能が一体で、1台で脈動を減らします
PILLARのPKシリーズやPEシリーズは、別にアキュームレータを付けて脈動を減らします

吐出量・液温・空気圧

最大吐出量は、PILLARのPKシリーズが121L/min、イワキのFLP-75Wが92L/min、サンゴバンのA2CH3が60L/minです
液温は、PILLARのPKシリーズが10〜180℃、イワキのFLP-75Wが5〜180℃、サンゴバンのA2CH3が0〜85℃、イワキのFS-100NFが5〜60℃です
FLP-75Wは液温が上がると供給空気圧の上限が下がり、151〜180℃では0.3MPaです
供給空気圧は、イワキのFS-100NFが0.2〜0.7MPa、PILLARのPRSシリーズが0.2〜0.5MPaGです
最大空気消費量は、FS-100NFのシリーズで1495NL/min、FLP-75Wで647NL/minです。工場の圧縮空気の余力を先に確かめます