ベローズポンプのメーカー4社比較【2026年】

このページの6製品は、どれも公式に値段を出していません。吐出量・接液部の材質・コントローラの有無で見積になります。比べるときは、最大吐出量・供給空気圧・液温をそろえて聞きます。

どちらも往復で送る容積式ですが、ベローズポンプは蛇腹を伸び縮みさせます。イワキはFW/FW-Hシリーズで、ベローズ寿命がダイヤフラムタイプの3〜4倍と案内しています。サンゴバンのFuron A2ポンプも、作動数が同種のダイヤフラムポンプより少ないとしています。

空気で動かす標準・大流量の型、脈動を打ち消す低脈動の型、モーターで決まった量を入れる定量の型に分かれます。PILLARのPKシリーズとイワキのFS-100NFは大流量、イワキのFLP-75WとPILLARのPRSシリーズは低脈動、日機装エイコーのGY型は定量です。

イワキのFLP-75Wはベローズの動く位相を制御して、ダンパーなしで脈動を抑えます。PILLARのPSシリーズはアキュームの機能を組み込み、1台で脈動を減らします。PKシリーズやPEシリーズは、別にアキュームレータを付けます。

PILLARのPKシリーズは最大121L/min、イワキのFS-100NFは最大100L/minです。サンゴバンのFuronベローズポンプは流量1.5〜100L/minから選べ、A2CH3は最大60L/minです。

PILLARのPKシリーズは10〜180℃、イワキのFLP-75Wは5〜180℃で使えます。FLP-75Wは液温が上がると供給空気圧の上限が下がり、151〜180℃では0.3MPaです。サンゴバンのA2CH3は0〜85℃、イワキのFS-100NFは5〜60℃です。

半導体向けの空気駆動の型は、接液部がPTFEとPFAです。サンゴバンのFuron A2ポンプはOリングも金属部品も使っていません。日機装エイコーのGY型は本体がポリプロピレンで、弁とOリングにEPDM・FPM・CSMを使います。

イワキのFS-100NFは0.2〜0.7MPa、PILLARのPRSシリーズは0.2〜0.5MPaGです。最大空気消費量は、FS-100NFのシリーズで1495NL/min、FLP-75Wで647NL/minです。工場の圧縮空気の余力を先に確かめます。

サンゴバンのFuronベローズポンプは、SYタイプがスラリー用、CHタイプが薬液用です。PILLARはPCシリーズをCMPプロセス・スラリー用に用意しています。薬液用の型をそのままスラリーに使わず、用途の合う型を選びます。

サンゴバンのFuron A2ポンプは1.3億回の耐久作動試験を示しています。日機装エイコーのポリプロピレン製ベローズは数百万回の往復に耐え、摺動部がないのでドライ運転ができます。ベローズは消耗するので、破れを知らせるリークセンサの有無も確かめます。