X線カメラとは？種類（走査型・シンチレータ式・フォトンカウンティング・軟X線用）の違いと選び方

X線カメラとは

X線カメラは、物を透かしたX線を受けて、画像の信号に変えるカメラです。X線検出器やX線イメージセンサとも呼びます。検査装置や分析装置の中に組み込む部品で、X線源や搬送は別に用意します。

比較ページには、メーカーが自社で作り、公式で仕様を確かめられたX線カメラを型番の単位で載せています。X線源と搬送までまとめた完成品は、X線検査装置の比較ページで扱います。

4つの種類

• 走査型：流れる物を1列ずつ撮ります。例は浜松ホトニクスのC12300、ANSeeNのCdTe PhotonCounting Line Sensor、テレダインのShad-o-Scan SB1661です
• シンチレータ式の二次元型：X線を光に変えて面で撮ります。例は浜松ホトニクスのC16401SK-51、テレダインのRad-icon 0720です
• フォトンカウンティングの二次元型：X線の粒を画素で数えます。例はANSeeNのCdTe PhotonCounting FPD、リガクのHyPix-3000、DECTRISのPILATUS4 R 1Mです
• 軟X線・EUVの直接検出型：真空につないで直接受けます。例はAndorのiKon-L SOとMarana-X 4.2B-6、アートレイのARTCAM-400SX-USB3です

選び方

撮り方で決める

コンベアで流しながら撮るなら走査型です。C12300は最大144.0 m/minまで流せます。止めて広く撮るなら二次元型で、Rad-icon 0720は68 x 204 mmを66 fpsで撮れます。

X線の強さで決める

管電圧の範囲は型で違います。

• C12300の管電圧は、約10 kV〜180 kVです
• Rad-icon 0720の管電圧は、10〜225 kVです
• ARTCAM-400SX-USB3のエネルギー範囲は、80〜1000 eVです

見たい細かさで決める

画素ピッチが小さいほど細かく撮れます。

• C12300の画素サイズは、48 µmです
• C16401SK-51の画素サイズは、100 µm×100 µmです
• Marana-X 4.2B-6のピクセルサイズは、6.5 x 6.5 µmです

価格

載せた7社とも、公式に値段を出していません。型番と使い方を伝えて、各社に見積もりを取ります。