高機能デジタルマイクロスコープ（解析向け）のメーカー4社比較【2026年】

キーエンス・エビデント・ハイロックス・ライカの4社とも、公式サイトに値段を出していません。レンズの本数、電動ステージ、3D測定や解析のソフトの組み合わせで値段が変わるので、見たい物と倍率、測りたい項目を伝えて見積もりを取ります。

エビデントのDSX2000が21〜7,300倍、ハイロックスのHRX-02がHR-5000Eレンズで20〜5000倍、ライカのDVM6が高倍対物で最大2,350倍、キーエンスのVHX-X1がVH-ZSTレンズで20〜2000倍です。倍率はモニターの大きさで変わるので、視野も一緒に見ます。

ハイロックスのHRX-02は、高低差・体積・粗さ（Ra・Rz・Rzjis）を3Dで測れます。エビデントのDSX2000はPRECiVソフトで2D/3D測定、ライカのDVM6は焦点合成と2D・3D測定ができます。キーエンスのVHX-X1も3D測定ができます。

キーエンスのVHX-X1は、異物解析・元素分析・清浄度検査に対応します。エビデントのDSX2000は、ISO 16232やVDA19などの規格に合わせた清浄度の検査をワンクリックで始められ、直径25mm・47mm・55mmのフィルターメンブレンを使えます。

エビデントのDSX2000は、明視野・暗視野・偏光など7つの観察方法をボタンひとつで切り替えます。ハイロックスのHRX-02は、同軸照明のときに偏光・片射・凹凸強調など6種類の照明を使えます。傷と異物で見え方が変わるので、切り替えの手間を比べます。

ライカのDVM6は、サンプルを置いたまま、スタンドを片手で-60°〜+60°に傾けて見られ、傾けてもピントがずれません。70mm×50mmのステージの回転・移動と組み合わせて、いろいろな角度から見られます。側面の傷やはんだの形を見るのに向きます。

エビデントのDSX2000は、超長作動や高解像度のレンズを含む20種類の対物レンズから選べます。ライカのDVM6は低倍・中倍・高倍の3本の対物レンズで、低倍なら視野43.75mm・作動距離60mmです。ハイロックスのHRX-02は最大4本の対物レンズをつなげます。

キーエンスのVHX-X1は、27型の液晶とカメラ・制御部が1台になっています。ハイロックスのHRX-02とライカのDVM6はPCにつないで使います。エビデントのDSX2000は、制御用のPCとは別のPCに解析ソフトを入れて、画像の解析を分けて進められます。

エビデントのDSX2000は1,237万画素、キーエンスのVHX-X1はカメラVHX-7100で1,222万画素です。ハイロックスのHRX-02は、受光素子が3.45µm角の大きいCMOSセンサーのカメラで、高解像度のレンズの像を低いノイズで映します。

高機能機は、電動のズームで低倍から数千倍まで見られ、深度合成や3D測定もできるので、不良解析でSEMに回す前に場所と形を絞り込むのに使います。接眼レンズでのぞく実体顕微鏡は、松電舎の解説のとおり長所と短所があり、作業で使い分けます。