GUIDE / LEAK-TESTERリークテスター
リークテスターとは？原理と種類・差圧式と直圧式の違い・ヘリウムとの使い分け
リークテスター
この
リークテスターは、
リークテスターとは
リークテスターは、
比較ページには、
原理と仕組み
- ワークに
空気を 入れて 閉じ込めると、 漏れが あれば中の 圧力が 下がる。 この 下がり方で 漏れを 見るのが エアーリークテスト - 差圧式は、
漏れの ない マスターと ワークに 同じ 圧力を 入れ、 一定 時間後の 2つの 圧力の 差を 差圧センサーで読む - 測る
順番は、 加圧 → 平衡 （加圧で 上がった 温度が 落ち着くのを 待つ） → 検出 → 排気 - ヘリウム式は、
ワークから 漏れてきた ヘリウムを 質量分析計で 数え、 漏れの 量として出す
4つの種類
差圧式（エアー）
- マスターと
ワークの 圧力の 差を 読むので、 空気に よる 検査の 中では 小さな 漏れまで 見られる - 温度や
変形の 影響を マスター側で 打ち消しやすい - 量産ラインの
全数検査で 多く 使われる
直圧式（圧力降下）
- ワークの
圧力の 下がり方だけを 見る。 マスターが いらない - 差圧式より
感度は 下がり、 圧力が 高いほど 分解能も 下がる - 大きめの
漏れを すば やく 見分けたい ときに使う
ヘリウム（真空法）
- ヘリウムを
入れた ワークを 真空の チャンバーに 入れるか、 ワークの 中を 真空に して、 漏れてきた ヘリウムを 数える - 空気では
見えない 小さな 漏れまで、 量として 数字で 出せる - 検査の
たびに ヘリウム代が かかる。 回収装置で 使い回す方法もある
スニッファー（ヘリウム・水素）
- ワークに
ガスを 入れ、 外に 漏れ出た ガスを プローブで 吸い 込んで 調べる - プローブを
当てた所で 反応するので、 漏れの 場所を 探すのに向く - 水素は、
漏れた ガスを ローカルチャンバ に 集めて 濃度を 測る 使い方もある
差圧式と直圧式の違い
- 差圧式：マスターと
比べる。 感度が 高く、 検出の 時間を 短く できる - 直圧式：ワークだけで
見る。 仕組みが 簡単で、 マスターを 用意しなくてよい - 小さな
漏れを 短い 時間で 見たいなら 差圧式、 大きめの 漏れを 手軽に 見るなら 直圧式
水没検査からの置き換え
- 水に
沈めて 気泡を 目で 見る検査は、 見落としが 避けられない・乾かす工程が いる・ 自動化できない - エアーリーク
テスター なら、合否を 数字で 出して 自動で 振り分けられる - 空気で
足りない 小さな 漏れは、 ヘリウムの 検査に 置き換える
温度による誤判定
- 空気は
温度が 変わると 圧力も 変わるので、 漏れが 無くても 圧力が動く - 溶接・洗浄・乾燥の
直後の ワークは、 検査の 間に 冷えて 圧力が 下がり、 漏れありと 出やすい - 対策は、
温度が 落ち着くまで 待つ・ワークの 温度を 測って 補正する・ワークどうしを 比べる 方式に する、の どれか
使い方
- ワークを
治具で 密閉し、 試験圧力と 時間 （加圧・平衡・検出）、 合否の しきい値を 品種ごとに 決める - 品種ごとの
条件は チャンネル （テストプログラム） として 本体に 持たせる - ふだんの
点検は、 漏れの 量が 決まった 基準の 漏れ （リークマスターなど）を つないで、 正しく 判定するかを 確かめる
選ぶときに見る点
- 不良と
する ：漏れの 大きさ これで、 エアーか ヘリウムか、 差圧式か 直圧式かが 決まる - 試験圧力：ワークの
使い方に 合わせる。 真空側で 見る検査も ある。 ガスで 1MPa以上を かける 検査は、 都道府県への 申請が 必要な ことがある - 温度の補正：溶接や
洗浄の 直後に 検査するなら、 温度を 補正できる 機種か - チャンネル数：1台で
検査する 品種の数 - 通信：ラインの
PLCと つなぐなら、 I/Oのほかに フィールドバス （EtherNet/IP・ PROFINETなど）に 対応するか - 値段：公開している
メーカーは ほとんど 無い。 ワークと 条件を 伝えて 見積もりを 取り、 マスター・ 治具・ ガス代まで 含めて 比べる
関連する比較
COMPAREリークテスターの
リークテスターのメーカー10社を比べる
エアー・