ケルビンプローブのメーカー4社比較【2026年】

載せた6製品はどれも公式に値段を出していません。テスプロ・喜多製作所・精研・インクスとも問い合わせで見積もります。精研の新型ケルビンプローブは単体ではメンテナンス用だけを売り、プローブカードや専用ソケットキット、検査治具として納めます。

当てる相手と組み方で3つに分けました。喜多製作所のKelvinや精研の新型ケルビンプローブのような半導体デバイス用、テスプロのF810やKLOSPH-5-E-Eのような1本に2つの接点をまとめた型、インクスの2探針ケルビンプローブのようなパワーデバイス用です。

電流を流す経路と電圧を測る経路を分けて端子に当てる測り方です。精研の解説では、2経路に分けることでリード線や接触抵抗の影響を除き、測る物の抵抗を正しく取れます。そのため1つの端子に2点で当てるプローブを使います。

喜多製作所のKelvinはプローブのピッチを0.3・0.4・0.5mmから選べます。精研の新型ケルビンプローブは、電極ピッチ0.35mmから、プローブ先端ピッチ100μmからで、2点間のギャップを0.1mmまで詰めています。

テスプロの大電流4端子プローブKLOSPH-5-E-Eは定格電流60Aで、同じシリーズのKLOSPH-25-FE-FEは600Aです。インクスの2探針ケルビンプローブは1000V・15Aで使えます。半導体用の喜多製作所の0.5mmピッチの型は2.4Aです。

1本型は、テスプロのF810のように内側のセンターピンと外側のシールディングプランジャーで2つの接点を持ち、1か所に1本で4端子になります。2本で当てる型は、喜多製作所のKelvinのように2本のプローブを1つの端子に当て、狭いピッチの半導体に使います。

喜多製作所の0.3mmピッチの型はスプリング耐久回数1000Kサイクル、0.5mmピッチの型は500Kサイクルです。インクスの2探針ケルビンプローブは、ストローク0.3mmで1000万ショット以上の例が示されています。

喜多製作所のKelvinの固有抵抗値は、0.3mmピッチの型が0.2Ω以下、0.5mmピッチの型が0.05Ω以下です。テスプロ・精研・インクスの載せた品は、抵抗値を公式ページに書いていません。

喜多製作所の0.5mmピッチの型は-45〜140℃、0.3mmピッチの型は-45〜125℃です。テスプロのF810は-45〜+100℃、KLOSPH-5-E-Eは-40〜+120℃で使えます。

喜多製作所の0.3mmピッチの型は荷重15gf・使用ストローク0.3mm、0.5mmピッチの型は31gf・0.45mmです。テスプロのF810は推奨ストローク時のバネ圧がセンターピン70gf、シールディングプランジャー100gfです。