グローブボックスSagami（2グローブ）株式会社エイエルエステクノロジー

仕様

向いている所：真空蒸着装置とつないで有機デバイスを作る

種類

精製装置付き（不活性ガス循環精製）

主室の寸法

W780×D650×H1707mm（外形）

グローブの数

2個（⁠8インチ⁠）

中の雰囲気

酸素5ppm以下、水分5ppm以下（露点約−64℃⁠⁠⁠以下）

気密

—公式資料で確認できず

置換のしかた

ガス循環式で精製（銅触媒・PLC自動制御）

本体の材質

SUS304、前面窓はポリカーボネート

価格

—公式資料で確認できず

前室

内径254mm、長さ293mm

特長

N2ガス漏れで元栓を自動で閉める

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

基板搬送レベル1242mm・フランジ直径265mmに合えば他社の真空装置にもつなげる。値段は公式に記載なし（リーズナブルプライスと案内）。

同じ精製装置付き（不活性ガス循環精製）のグローブボックス