{ "title": "スパッタ装置のメーカー比較", "source": "https://makerzukan.jp/c/seizou/sputtering-system/", "publisher": "メーカー図鑑", "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可", "updated": "2026-10-30", "definition": "スパッタ装置（スパッタリング装置）は、真空の中でターゲットをたたき、飛び出た原子で基板に薄い膜を付ける装置です。", "findings": [ "値段を出しているメーカーは8社中1社もありません。どれも寸法を伝えて見積もりを取ります。", "種類ごとの製品数は、マルチチャンバー（クラスター）式 4・ロードロック・単室式 5・ドラム・カルーセル式（バッチ） 3・卓上・研究用小型 2です。", "到達圧力を公式資料に書いている製品は、14製品中2製品だけでした。", "基板の大きさを公式に書いているのは、14製品中9製品です。", "カソードの数や大きさを公式に書いているのは10製品です。", "到達圧力を公式に書いているのは2製品だけです。", "値段を公式に出している製品はありません。" ], "types": [ { "key": "sput-cluster", "name": "マルチチャンバー（クラスター）式", "how": "真ん中の搬送室のまわりに、成膜室を何室もつなぐ型です。ロボットが基板を1枚ずつ真空のまま運ぶので、違う膜を続けて積めます。半導体や電子部品の量産ラインで使います。", "scenes": [ "ウエハに何種類も膜を積む", "量産ラインで1枚ずつ処理する", "加熱やエッチングも同じ装置で" ] }, { "key": "sput-loadlock", "name": "ロードロック・単室式", "how": "成膜室を1つにして、基板を出し入れするロードロック室（仕込室）を付けた型です。成膜室を真空のまま基板を入れ替えられるので、待ち時間が短くなります。研究開発や小規模生産、電子部品の電極づけに使います。", "scenes": [ "研究開発から小規模生産まで", "カソードを並べて多層膜を積む", "電子部品の電極を続けて付ける" ] }, { "key": "sput-drum", "name": "ドラム・カルーセル式（バッチ）", "how": "回るドラムやカルーセルに基板をたくさん並べ、回しながら膜を付ける型です。光学膜の多層膜や、樹脂部品の装飾膜を量産で付けます。装置は大きく、床に据え付けます。", "scenes": [ "ARコートなどの光学多層膜", "樹脂部品の装飾膜", "小さな基板をまとめて処理する" ] }, { "key": "sput-bench", "name": "卓上・研究用小型", "how": "机や台に置ける小さな装置で、1つの真空槽で試料に膜を付けます。電子顕微鏡の試料づくりや、電極膜・酸化物膜の研究に使います。SC-701MkII ADVANCEは本体9kgで、前のドアから試料を出し入れします。", "scenes": [ "SEMの試料に導電膜を付ける", "研究室で少しずつ試す", "置き場所が狭い" ] } ], "columns": [ "図鑑番号", "製品名", "メーカー", "種類", "向いている所", "基板サイズ", "スパッタ源", "室の構成", "到達圧力", "電源", "価格", "搬送", "基板加熱", "寸法・質量", "所要電源", "主な用途", "公式ページ", "カタログ", "出典", "確認日" ], "rows": [ [ "MZ-40806", "スパッタリング装置 CS", "株式会社アルバック", "ロードロック・単室式", "研究開発と小規模生産の多層膜", "直径300mmまで搬送、成膜性能は直径190mmまで保証", "複数カソード（積層スパッタリング）", "シングルチャンバー、ロードロック室付き", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "ロードロック室のカセットにトレイ5枚、マニピュレーターで自動搬送", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "電子部品の研究開発、小規模生産", "https://www.ulvac.co.jp/products/sputtering_system/cs/", "記載なし", "https://www.ulvac.co.jp/products/sputtering_system/cs/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40801", "スパッタリング装置 SME-200", "株式会社アルバック", "マルチチャンバー（クラスター）式", "電子部品・MEMSの量産成膜", "直径200mmまで", "記載なし", "搬送室は4・6・8角形、プロセス室は最大3・5・7室", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "真空搬送ロボット（シングルアーム、ダブルピック、ダブルアーム）", "基板加熱機構あり", "記載なし", "記載なし", "電子部品、MEMS、パワーデバイス、LED、通信デバイス", "https://www.ulvac.co.jp/products/sputtering_system/sme/", "記載なし", "https://www.ulvac.co.jp/products/sputtering_system/sme/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40809", "光学膜用スパッタ成膜装置 NSC-15", "株式会社オプトラン", "ドラム・カルーセル式（バッチ）", "スマホ・車載の光学膜の量産", "基板ホルダ13〜22枚から選べる", "デュアルカソード、ロータリ式", "ロードロック室W500mm×D800mm×H2890mm、成膜室直径1650mm×H1200mm", "記載なし", "反応源はICP（誘導結合プラズマ）", "記載なし", "直径1500mmのドラム式、毎分10〜100回転", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "スマートフォン、自動車の光学膜", "https://www.optorun.co.jp/products/nsc/nsc.html", "記載なし", "https://www.optorun.co.jp/products/nsc/nsc.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-40804", "スパッタリング装置 EB1100", "キヤノンアネルバ株式会社", "ロードロック・単室式", "800℃まで加熱する材料開発", "直径4・6・8インチ、トレイ", "直径4インチカソード最大4基", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "全自動（排気、基板搬送、成膜）", "最高800℃", "記載なし", "記載なし", "小規模生産、研究開発、材料開発", "https://anelva.canon/business/equipment/el_detail02.html", "記載なし", "https://anelva.canon/business/equipment/el_detail02.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-40800", "スパッタリング装置 FC7100", "キヤノンアネルバ株式会社", "マルチチャンバー（クラスター）式", "12インチのHigh-kメタルゲート", "直径12インチ", "記載なし", "最大5モジュール（エッチング、酸化、加熱のモジュールも搭載可）", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "ロジック、DRAM周辺回路、CMOSイメージセンサー", "https://anelva.canon/business/equipment/se_detail01.html", "記載なし", "https://anelva.canon/business/equipment/se_detail01.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-40813", "RFスパッタ装置 SVC-700RF II", "サンユー電子株式会社", "卓上・研究用小型", "絶縁膜・酸化物膜の研究", "記載なし", "Type-Ⅰは直径2インチ×3源と直径4インチ×1源、Type-Ⅱは直径4インチ×2源と直径6インチ×1源を追加", "Type-Ⅰは直径230mm×H200mm、SUS製", "10-5Pa台", "RF 300W、13.56MHz", "記載なし", "記載なし", "オプションで300℃、600℃", "本体W744mm×D595mm×H1046mm、約140kg", "単相100V、3kVA", "絶縁膜、酸化物薄膜", "https://www.sanyu-electron.co.jp/products/sputter/svc-700rf-ii/", "記載なし", "https://www.sanyu-electron.co.jp/products/sputter/svc-700rf-ii/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40812", "スパッタ装置 SC-701MkII ADVANCE", "サンユー電子株式会社", "卓上・研究用小型", "SEM試料・電極膜の少量成膜", "記載なし", "直径2インチDCマグネトロン、平板型電極", "内径直径90mm×奥行90mm、SUS製", "記載なし", "DC", "記載なし", "前面ドア開閉式", "記載なし", "本体W160mm×D450mm×H290mm、9kg", "記載なし", "電極膜付け、反射薄膜、SEM試料のタングステンコート", "https://www.sanyu-electron.co.jp/products/sputter/sc-701mkii-advance/", "記載なし", "https://www.sanyu-electron.co.jp/products/sputter/sc-701mkii-advance/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40805", "スパッタリング装置 CFS-4EP-LL", "芝浦メカトロニクス株式会社", "ロードロック・単室式", "大学・研究機関の成膜研究", "記載なし", "最大4個（常磁場、強磁場を選べる）", "ロードロック式", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "公転テーブル、自動供給機に対応", "最高600℃加熱、水冷", "記載なし", "記載なし", "半導体、電子部品、LED、LD、センサー、MEMS", "https://www.shibaura.co.jp/products/vacuum/vac-03.html", "記載なし", "https://www.shibaura.co.jp/products/vacuum/vac-03.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-40807", "スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ", "株式会社昭和真空", "ロードロック・単室式", "水晶振動子の電極の量産", "記載なし", "ターゲットW126mm×H178mm×t6mm", "仕込室、成膜室の2室", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "ラック＆ピニオン方式", "記載なし", "W1,100mm×D3,640mm×H1,680mm、1,900kg", "AC200〜220V（3相）、27kVA", "電子部品の電極用金属膜（水晶振動子のベース電極）", "https://www.showashinku.co.jp/product/item/sph-2500t-2/", "記載なし", "https://www.showashinku.co.jp/product/item/sph-2500t-2/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40810", "スパッタ重合装置 SPP-155TC", "株式会社昭和真空", "ドラム・カルーセル式（バッチ）", "樹脂の装飾部品の量産", "直径500mm×高さ1,200mmの範囲", "記載なし", "バッチ式（カルーセル型）", "記載なし", "120kW", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm、6,200kg", "AC200〜220V、約160kVA", "装飾膜（自動車内装部品、ヘッドランプリフレクター）", "https://www.showashinku.co.jp/product/item/spp-155tc/", "記載なし", "https://www.showashinku.co.jp/product/item/spp-155tc/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40802", "クラスタ型スパッタリング装置 INACO", "株式会社シンクロン", "マルチチャンバー（クラスター）式", "高周波フィルター・MEMSの圧電膜", "記載なし", "円形全面エロージョンカソード（直径8インチのターゲット）", "ロードロック、搬送室、スパッタチャンバ標準4室", "2.0×10-5未満（単位の記載なし）", "RF（13.56MHz）、DC、RF重畳DC", "記載なし", "真空ウエハ搬送ロボット", "最高600℃", "記載なし", "記載なし", "高周波フィルター、MEMSの機能性薄膜、圧電材料", "https://www.shincron.co.jp/product/model/product-3127/", "記載なし", "https://www.shincron.co.jp/product/model/product-3127/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40811", "スパッタ装置 RAS-1100C", "株式会社シンクロン", "ドラム・カルーセル式（バッチ）", "光学薄膜・樹脂基板の多層膜", "基板ドラム直径1,100mm×230mm", "デュアルカソード、18×5インチの平板カソード", "CH-1（あらびき）、CH-2（14インチTMP×2）", "記載なし", "ラジカル源はICP RF電源", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "光学薄膜、金属膜", "https://www.shincron.co.jp/product/model/ras/", "記載なし", "https://www.shincron.co.jp/product/model/ras/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40803", "マルチチャンバスパッタリング装置 STM4415", "神港精機株式会社", "マルチチャンバー（クラスター）式", "開発から試作までの多層膜", "ウェハ直径76.2〜203.2mm、ガラス・セラミック板は対角203mmまで", "記載なし", "マルチチャンバ（各室を別々に保守できる）", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "半導体、FPD、MEMS、先端表面実装", "https://www.shinko-seiki.com/products/225/", "記載なし", "https://www.shinko-seiki.com/products/225/", "2026-10-30" ], [ "MZ-40808", "ロードロックスパッタリング装置 STL5321", "神港精機株式会社", "ロードロック・単室式", "多層膜の連続成膜", "トレー最大直径270mm、カセットに標準12枚", "直径100mmカソード3元", "カセット室、搬送室、成膜室（搬送室と成膜室は常時真空）", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "多層膜", "https://www.shinko-seiki.com/products/223/", "記載なし", "https://www.shinko-seiki.com/products/223/", "2026-10-30" ] ], "logos": { "ulvac": "https://makerzukan.jp/assets/logo/ulvac.webp", "optorun": "https://makerzukan.jp/assets/logo/optorun.webp", "canon-anelva": "https://makerzukan.jp/assets/logo/canon-anelva.webp", "sanyu-electron": "https://makerzukan.jp/assets/logo/sanyu-electron.webp", "shibaura-mechatronics": "https://makerzukan.jp/assets/logo/shibaura-mechatronics.webp", "shincron": "https://makerzukan.jp/assets/logo/shincron.webp", "shinkoseiki": "https://makerzukan.jp/assets/logo/shinkoseiki.webp" } }