{
 "title": "半導体用ステッパーのメーカー比較",
 "source": "https://makerzukan.jp/c/kakou/lithography-stepper/",
 "publisher": "メーカー図鑑",
 "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可",
 "updated": "2026-10-28",
 "definition": "半導体用ステッパーは、マスクの回路パターンを投影し、｜基板を少しずつ移動して繰り返し露光する装置です。",
 "findings": [
  "値段を出しているメーカーは6社中1社もありません。どれも寸法を伝えて見積もりを取ります。",
  "工程・基板の区分ごとの製品数は、前工程のウエハー用 3・後工程のウエハー用 3・パネル基板用 4です。",
  "解像力を公式資料で確認できたのは10製品です。レジスト厚とオプション条件が異なるため、数値だけで優劣を決めません。",
  "重ね合せ精度を数値で確認できたのは7製品です。自己重ねと機差重ねを分けて比べます。",
  "掲載した製品に本体の公開価格はありません。基板・レジスト・搬送条件を伝えて見積を取ります。"
 ],
 "types": [
  {
   "key": "lst-feol",
   "name": "前工程のウエハー用",
   "how": "ウエハー上の回路層を、縮小投影して繰り返し露光します。掲載機はi線を使い、下地との位置合わせや既存工程との互換性で選びます。",
   "scenes": [
    "ロジック・メモリーの回路形成",
    "パワーデバイスの露光",
    "既存i線設備の置き換え"
   ]
  },
  {
   "key": "lst-wafer",
   "name": "後工程のウエハー用",
   "how": "再配線層やバンプ、TSVなどのパッケージ工程を露光します。厚いレジストやウエハーの反りに対応する光学系と搬送機能を確認します。",
   "scenes": [
    "ファンアウトの再配線",
    "TSV・バンプの形成",
    "大型パッケージの露光"
   ]
  },
  {
   "key": "lst-panel",
   "name": "パネル基板用",
   "how": "角形のパッケージ基板やガラス基板を分割して露光します。大きな露光領域に加え、基板の伸縮を補正する機能と反りへの追従を比べます。",
   "scenes": [
    "パッケージ基板の量産",
    "ガラス・CCL基板の配線形成",
    "パネルレベルのパッケージ工程"
   ]
  }
 ],
 "columns": [
  "図鑑番号",
  "製品名",
  "メーカー",
  "工程・基板の区分",
  "向いている所",
  "露光波長",
  "解像力",
  "露光領域",
  "重ね合せ精度",
  "対応基板寸法",
  "価格",
  "縮小比",
  "開口数NA",
  "焦点深度",
  "機能・条件",
  "公式ページ",
  "カタログ",
  "出典",
  "確認日"
 ],
 "rows": [
  [
   "MZ-27566",
   "分割投影露光装置 UX-58112SC",
   "ウシオ電機株式会社",
   "パネル基板用",
   "パッケージ基板の大面積露光",
   "i線",
   "3µm L/S",
   "250×250mm",
   "記載なし",
   "510×515mm",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "オートスケール機能、最大0.1%自動変倍",
   "https://www.ushio.co.jp/jp/products/1074.html",
   "記載なし",
   "https://www.ushio.co.jp/jp/products/1074.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27567",
   "分割投影露光装置 UX-5894SC",
   "ウシオ電機株式会社",
   "パネル基板用",
   "パッケージ基板の大面積露光",
   "i線",
   "5µm L/S",
   "250×250mm",
   "記載なし",
   "510×515mm",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "オートスケール機能、最大0.1%自動変倍",
   "https://www.ushio.co.jp/jp/products/1074.html",
   "記載なし",
   "https://www.ushio.co.jp/jp/products/1074.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27568",
   "パネル用ステッパー JetStep X500",
   "オントゥ・イノベーション・ジャパン株式会社",
   "パネル基板用",
   "ガラス・CCLの大型パネル露光",
   "記載なし",
   "3µm L/S、技術論文の構成",
   "最大250×250mm",
   "<1µm、技術論文の構成",
   "510×515mm、ガラス・CCL基板",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "縦横独立の倍率補正、露光位置ごとのオートフォーカス",
   "https://ontoinnovation.com/products/jetstep-x500/",
   "記載なし",
   "https://ontoinnovation.com/products/jetstep-x500/",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27563",
   "ステッパー PPS-8300p1",
   "株式会社オーク製作所",
   "後工程のウエハー用",
   "ウエハーレベルのパッケージ露光",
   "ghi線、gh線、i線、レシピ連動",
   "2.0µm L/S、レジスト厚2.0µm",
   "52×33mm",
   "≦0.5µm、Ave+3σ",
   "6inch・8inch・12inch",
   "記載なし",
   "1:1",
   "0.16・0.1可変",
   "記載なし",
   "薄ウェーハ搬送はオプション",
   "https://www.orc.co.jp/products/ja/stepper/pps-8200-8300.html",
   "記載なし",
   "https://www.orc.co.jp/products/ja/stepper/pps-8200-8300.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27569",
   "ステッパー PPS-8500",
   "株式会社オーク製作所",
   "パネル基板用",
   "反り・伸縮のあるパネル露光",
   "ghi線、gh線、i線、レシピ連動",
   "2.0µm L/S、レジスト厚2.0µm",
   "52×33mm",
   "≦1.0µm、Ave+3σ",
   "最大510×515mm",
   "記載なし",
   "1:1",
   "0.16・0.1可変",
   "記載なし",
   "反り基板の吸着搬送、オートフォーカス",
   "https://www.orc.co.jp/products/ja/stepper/pps-8500.html",
   "記載なし",
   "https://www.orc.co.jp/products/ja/stepper/pps-8500.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27564",
   "i線ステッパー FPA-5520iV LF2オプション",
   "キヤノン株式会社",
   "後工程のウエハー用",
   "大型・高密度配線パッケージ",
   "i線365nm",
   "≦0.8µm",
   "52×68mm",
   "≦0.10µm",
   "300mm",
   "記載なし",
   "1:2",
   "0.24〜0.12、自動可変",
   "記載なし",
   "繋ぎ露光で100×100mm",
   "https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa5520iv.html",
   "記載なし",
   "https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa5520iv.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27560",
   "i線ステッパー FPA-5550iZ2",
   "キヤノン株式会社",
   "前工程のウエハー用",
   "ロジック・メモリーの露光",
   "i線365nm",
   "≦350nm",
   "26×33mm",
   "SMO≦18nm、MMO≦25nm、オプション適用時",
   "200mm・300mmから選択",
   "記載なし",
   "1:4",
   "0.57〜0.45、自動可変",
   "記載なし",
   "ショット形状補正機能SSC",
   "https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa5550iz2.html",
   "記載なし",
   "https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa5550iz2.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27561",
   "i線ステッパー NSR-2205iL1",
   "株式会社ニコン",
   "前工程のウエハー用",
   "既存のi線設備の置き換え",
   "i線365nm",
   "≦350nm、オプション適用時",
   "22×22mm",
   "≦70nm、SMO、オプション適用時",
   "150mm・200mm",
   "記載なし",
   "1:5",
   "0.45",
   "記載なし",
   "既存i線装置との互換性",
   "https://www.jp.nikon.com/business/products-and-services/semiconductor-lithography/systems/i-line-steppers/lineup/product-basic-info.nsr-2205il1/",
   "記載なし",
   "https://www.jp.nikon.com/business/products-and-services/semiconductor-lithography/systems/i-line-steppers/lineup/product-basic-info.nsr-2205il1/",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27562",
   "i線ステッパー NSR-SF155",
   "株式会社ニコン",
   "前工程のウエハー用",
   "大口径ウエハーの量産露光",
   "i線365nm",
   "≦280nm",
   "26×33mm",
   "≦25nm、SMO",
   "200mm・300mm",
   "記載なし",
   "1:4",
   "0.62",
   "記載なし",
   "スカイフック構造、ウエハステージ高速化",
   "https://www.jp.nikon.com/business/products-and-services/semiconductor-lithography/systems/i-line-steppers/lineup/product-basic-info.nsr-sf155/",
   "記載なし",
   "https://www.jp.nikon.com/business/products-and-services/semiconductor-lithography/systems/i-line-steppers/lineup/product-basic-info.nsr-sf155/",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-27565",
   "ステッパー AP300",
   "ビーコ・ジャパン株式会社",
   "後工程のウエハー用",
   "ファンアウト・TSVの露光",
   "350〜450nm",
   "2µm",
   "68×26mm",
   "記載なし",
   "8inch・12inch、または6inch・8inch",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "最大7mmの反りウエハー搬送",
   "https://www.veeco.com/products/ap200-300-lithography-systems/",
   "記載なし",
   "https://www.veeco.com/products/ap200-300-lithography-systems/",
   "2026-10-28"
  ]
 ],
 "logos": {
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