{ "title": "電子顕微鏡のメーカー比較", "source": "https://makerzukan.jp/c/keisoku/denshi-kenbikyo/", "publisher": "メーカー図鑑", "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可", "updated": "2026-10-14", "definition": "電子顕微鏡は、光の代わりに電子線を当てて、｜光学顕微鏡では見えない微細な構造まで拡大して見る装置です。", "findings": [ "値段を出しているのは7社中1社（13製品中2製品）だけ。ほかは寸法を伝えて見積もりを取ります。", "種類ごとの製品数は、卓上SEM 3・汎用SEM（タングステン・LaB6） 3・FE‑SEM・FIB‑SEM 4・TEM（透過型） 2です。", "値段を公式に出しているのは、13製品中2製品です（島津製作所のニュースリリースの税込価格）。", "分解能は、卓上SEMで数nm〜10nm程度、FE‑SEMで1nm前後、TEMで0.2nm前後です。" ], "types": [ { "key": "dk-takujo", "name": "卓上SEM", "how": "机の上に置ける小型のSEMで、試料を入れて短い時間で像が出ます。電子銃はタングステンかCeB6で、分解能は数nm〜10nm程度です。光学顕微鏡で見えない異物や破断面を、品質管理や研究室で手軽に確かめます。", "scenes": [ "品質管理で異物や破断面を見る", "光学顕微鏡の次に拡大して確かめる", "研究室の机で手軽に見る" ] }, { "key": "dk-hanyo", "name": "汎用SEM（タングステン・LaB6）", "how": "床に置く据え置きのSEMで、電子源にタングステンのフィラメントを使います（LaB6を選べる機種もあります）。試料室が大きく、EDSなど分析の検出器を付けて、材料や異物を調べる分析室の中心になります。分解能は30kVで2.5〜3nmです。", "scenes": [ "金属・樹脂の材料解析", "大きな部品をそのまま入れる", "EDSで元素を調べる分析室" ] }, { "key": "dk-fe", "name": "FE‑SEM・FIB‑SEM", "how": "電界放出形の電子銃を使うSEMで、1kV前後の低い電圧でも1nm前後まで見分けられます。電子線に弱い試料や、表面のごく浅い所を見るのに向きます。イオンビームで削るFIBを組み合わせたFIB‑SEMは、断面を作りながら見たり、TEMで見る薄い試料を作ったりします。", "scenes": [ "半導体・電池材料の微細な構造を見る", "電子線に弱い樹脂や生物の試料", "断面を作ってTEMの試料を用意する" ] }, { "key": "dk-tem", "name": "TEM（透過型）", "how": "電子線を薄い試料に通して、中の構造を0.1〜0.3nmの分解能で見る透過電子顕微鏡です。120kVの機種は生物・高分子に多く使われ、細胞の観察やクライオ電子顕微鏡の入門機にもなります。試料を薄くする前処理と、置く部屋の広さを先に決めます。", "scenes": [ "細胞・組織の微細な構造を見る", "ナノ粒子の形と大きさを測る", "クライオ電子顕微鏡を始める" ] } ], "columns": [ "図鑑番号", "製品名", "メーカー", "種類", "向いている所", "分解能", "倍率", "加速電圧", "電子銃", "低真空", "試料", "元素分析", "大きさ", "価格", "特長", "公式ページ", "カタログ", "出典", "確認日" ], "rows": [ [ "MZ-13303", "ZEISS EVO 10", "カールツァイス株式会社", "汎用SEM（タングステン・LaB6）", "電気を通さない試料も多い分析室", "30kVで2.5nm（W）・2nm（LaB6）", "記載なし", "0.2〜30kV", "タングステンかLaB6", "10〜400Pa、拡張で3,000Paまで", "試料室 直径310×高さ220mm", "オプション（SmartEDX）", "記載なし", "記載なし", "試料室は3,000Paまでの圧力で使える", "https://www.zeiss.com/microscopy/ja/products/sem-fib-sem/sem/evo.html", "記載なし", "https://www.zeiss.com/microscopy/ja/products/sem-fib-sem/sem/evo.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13306", "ZEISS Sigma 360", "カールツァイス株式会社", "FE‑SEM・FIB‑SEM", "電子線に弱い試料を低電圧で見る", "15kVで0.9nm、500Vで1.9nm", "10〜1,000,000倍", "0.02〜30kV", "ショットキー（電界放出）", "10〜133Pa（NanoVP lite）", "記載なし", "EDSポート2（専用1）", "記載なし", "記載なし", "500Vで1.9nm", "https://www.zeiss.com/microscopy/ja/products/sem-fib-sem/sem/sigma.html", "記載なし", "https://www.zeiss.com/microscopy/ja/products/sem-fib-sem/sem/sigma.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13312", "EB‑3000シリーズ", "株式会社キーエンス", "マイクロスコープ一体型", "マイクロスコープとSEMを1台で", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "360度回る電動ステージ、大きな試料室", "マイクロスコープ・SEM・EDSが1台", "記載なし", "記載なし", "観察した箇所から約1分でSEMへ自動で移る", "https://www.keyence.co.jp/products/microscope/scanning-electron-microscope/", "記載なし", "https://www.keyence.co.jp/products/microscope/scanning-electron-microscope/", "2026-10-14" ], [ "MZ-13309", "Apreo 2 S", "サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社", "FE‑SEM・FIB‑SEM", "分析しながら高い分解能で見る", "1kVで0.9nm", "記載なし", "20eV〜30keV", "電界放出（FEG）", "オプション（10〜500Pa）", "ステージ110×110mm、5kgまで", "オプション（ChemiSEM）", "記載なし", "記載なし", "作動距離10mmで1nm", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/scanning-electron-microscopes/apreo-sem.html", "記載なし", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/scanning-electron-microscopes/apreo-sem.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13301", "Phenom XL G3", "サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社", "卓上SEM", "大きな部品を切らずに見る品質管理", "9nm未満", "160〜200,000倍", "4.8〜20.5kV", "CeB6（寿命3,000時間）", "低・中・高を切り替える", "100×100mm・高さ40mm", "オプション（本体に一体）", "本体 W316×D587×H625mm、75kg", "記載なし", "像が出るまで平均40秒", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/desktop-scanning-electron-microscopes/phenom-xl.html", "記載なし", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/desktop-scanning-electron-microscopes/phenom-xl.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13311", "Talos 12", "サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社", "TEM（透過型）", "細胞・組織やナノ粒子のTEM観察", "線分解能0.204nm", "25〜650k倍（標準）", "20〜120kV", "LaB6かタングステン（熱電子）", "記載なし", "記載なし", "オプション（横から入れる格納式）", "設置する部屋は8.4m²から", "記載なし", "クライオ電子顕微鏡の入門機にもできる", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/transmission-electron-microscopes/talos-l120c-tem.html", "記載なし", "https://www.thermofisher.com/jp/ja/home/electron-microscopy/products/transmission-electron-microscopes/talos-l120c-tem.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13305", "SUPERSCAN SS‑2000 LMS", "株式会社島津製作所", "汎用SEM（タングステン・LaB6）", "金属・樹脂の材料解析と異物の確認", "30keVで3nm", "2〜1,000,000倍", "0.2〜30keV", "タングステン", "30Pa固定", "直径100mm・高さ39mm", "元素分析は専用ソフトEssenseで操作", "記載なし", "3,890万円〜（税込）", "2倍の極低倍率から見られる", "https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/scanning-electron-microscope/ss-2000/index.html", "記載なし", "https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/scanning-electron-microscope/ss-2000/index.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13308", "SUPERSCAN SS‑4000 LMH", "株式会社島津製作所", "FE‑SEM・FIB‑SEM", "非導電性の材料を低加速で細かく見る", "15keVで0.9nm、1keVで1.3nm", "2〜2,000,000倍", "0.05〜30keV", "ショットキー電界放出", "なし（GMUは7〜500Pa）", "直径100mm・高さ39mm", "オプション（約20種類の分析に対応）", "記載なし", "1億1,000万円〜（税込）", "約20種類の分析オプション", "https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/scanning-electron-microscope/ss-4000/index.html", "記載なし", "https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/scanning-electron-microscope/ss-4000/index.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13302", "TinySEM Mighty‑8DX", "株式会社テクネックス工房", "卓上SEM", "研究室の机で手軽に見る小型SEM", "17kVで約10nm", "25〜100,000倍", "2kV・17kV（1kV・5kVはオプション）", "タングステン（熱電子）", "高真空のみ", "直径50mmまで", "オプション", "本体 W380×D350×H500mm、約18kg", "記載なし", "永久磁石レンズで除振台がいらない", "https://www.technex.co.jp/products/mighty-8dx.html", "記載なし", "https://www.technex.co.jp/products/mighty-8dx.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13300", "JCM‑7000Plus NeoScope", "日本電子株式会社", "卓上SEM", "異物の観察と元素分析を手元で", "20kVで6.0nm（二次電子像）", "10〜100,000倍", "5・10・15・20kVの4段", "タングステン", "標準で付く", "直径80mm・高さ50mm", "自社製のEDSを組み込める", "記載なし", "記載なし", "光学像で視野を探してからSEM像へ切り替える", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/sem/jcm-7000plus.html", "記載なし", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/sem/jcm-7000plus.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13310", "JEM‑120i", "日本電子株式会社", "TEM（透過型）", "生物・高分子を見る120kVのTEM", "0.2nm（高分解能の構成は0.14nm）", "50〜1,200,000倍（高分解能の構成は1,500,000倍まで）", "20〜120kV", "フィラメント（カートリッジ式）", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "W840×D1,734×H1,782mm", "記載なし", "試料を入れてから4つの手順で観察", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/tem/JEM-120i.html", "記載なし", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/tem/JEM-120i.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13307", "JIB‑PS500i", "日本電子株式会社", "FE‑SEM・FIB‑SEM", "TEM試料づくりと断面の観察", "SEMは15kVで0.7nm", "50〜1,000,000倍（SEM）", "0.01〜30kV（SEM）", "インレンズショットキーPlus（電界放出）", "記載なし", "直径130mm・高さ80mmまで", "オプション（本体のソフトに組み込み）", "記載なし", "記載なし", "Gaイオンビームは最大100nA", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/fib/JIB-PS500i.html", "記載なし", "https://www.jeol.co.jp/products/scientific/fib/JIB-PS500i.html", "2026-10-14" ], [ "MZ-13304", "PrecisionSEM5600", "松定プレシジョン株式会社", "汎用SEM（タングステン・LaB6）", "薄い試料を低い電圧で細かく見る", "30kVで3nm（トップレンズ）", "低倍〜10万倍程度", "最大30kV", "タングステン", "オプション", "厚さ40mmまで", "オプション", "記載なし", "記載なし", "下側の対物レンズで厚さ5mm以下を高分解能に見る", "https://www.matsusada.co.jp/product/vcheck/electronmicroscope/precisionsem5600/", "記載なし", "https://www.matsusada.co.jp/product/vcheck/electronmicroscope/precisionsem5600/", "2026-10-14" ] ], "logos": { "keyence": "https://makerzukan.jp/assets/logo/keyence.webp", "thermo-fisher": "https://makerzukan.jp/assets/logo/thermo-fisher.webp", "shimadzu": "https://makerzukan.jp/assets/logo/shimadzu.webp", "jeol": "https://makerzukan.jp/assets/logo/jeol.webp", "matsusada": "https://makerzukan.jp/assets/logo/matsusada.webp" } }