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GUIDE / SULFUR-DIOXIDE

二酸化硫黄とは・選び方|亜硫酸ガスとの違い、高純度品とJCSS・一般標準ガス、濃度・容器・有効期限

半導体のエッチングや分析計の校正に使う二酸化硫黄(SO2)を選ぶ担当者へ。高純度の液化ガスと、JCSS標準ガス・一般標準ガスを区別し、純度・濃度範囲・充填圧力・容器・有効期限・見積もりの条件をメーカー公式資料から整理します。

2026年10月29日更新

この記事の答え

二酸化硫黄(亜硫酸ガス、SO2)は⁠、半導体のエッチングや化学品の原料と、大気・排ガスの分析計の校正に使うガスです。材料に使うなら純度、校正に使うなら濃度と証明書の種類を先に決めます。計量証明に使う校正はJCSS標準ガス、日常の校正は一般標準ガスです。標準ガスは有効期限と容器の返却日を分けて管理します。

二酸化硫黄とは

二酸化硫黄の化学式はSO2で、亜硫酸ガスとも呼びます。刺激臭のある無色の気体で、容器には液化ガスとして詰めます。業務で買う品は、二酸化硫黄そのものの高純度品と、窒素などで薄めて濃度を決めた標準ガスに分かれます。

二酸化硫黄のメーカー比較では、公式資料で純度・濃度範囲・容器を確かめた品を、高純度品・JCSS標準ガス・一般標準ガスの3区分で載せています。ガス検知器や二酸化硫黄計などの測る機器、硫酸、亜硫酸ナトリウムなどの塩は含めていません。

材料用は純度、校正用は濃度で選ぶ

材料に使う高純度品は、二酸化硫黄の純度と容器の大きさで比べます。校正に使う標準ガスは、成分の濃度、薄めるガス、濃度の精度で比べます。

  • 住友精化のSO2 PUREは、純度が99.9%を超えます。3.4L容器に4kg、10L容器に12kgを詰めます
  • レゾナックの高純度亜硫酸ガスは、半導体の絶縁膜エッチングに使い、とくに有機膜やカーボンマスクの加工に向きます
  • 住友精化の液化亜硫酸ガスは、ガラス表面処理や繊維質の分解に使う工業原料です。純度と容器は公開されていません

JCSS標準ガスと一般標準ガスの違い

JCSS標準ガスは、計量法トレーサビリティ制度に基づく証明書が付く標準ガスです。計量証明に使う分析計の校正では、この証明書が求められます。一般標準ガスは証明書の要らない校正に使い、濃度の範囲が広いのが特長です。

  • 高圧ガス工業のJCSS-MRA標準ガスは、窒素で薄めた二酸化硫黄を0.5ppmから1vol%まで作ります。不確かさは濃度と等級で±1.0〜5.0%です
  • 高千穂化学工業のJCSS標準ガスも、0.5ppmから1%までが範囲です。0.5〜1ppmは2級だけで、精度は±5.0%です
  • 日本酸素の一般標準ガスは、0.1ppmから18%まで濃度を指定して作ります。窒素と空気以外で薄めるときは2000ppm以上です
  • 住友精化の一般標準ガスは、40〜45ppmから1800〜1900ppmまで、濃度帯を決めた品を並べています

大気用と排ガス用で濃度帯が違う

大気の二酸化硫黄の環境基準は、1時間値の1日平均値が0.04ppm以下、かつ1時間値が0.1ppm以下です。測定方法は溶液導電率法または紫外線蛍光法で、測定器の測定範囲に合わせて校正用の濃度を決めます。

  • 高圧ガス工業の大気汚染測定用は、1〜100ppmで充填圧力14.7MPaです
  • 同じく煤煙測定用は1〜1000ppmで、煙突の排ガスのように濃い測定に向けた濃度帯です
  • ゼロ合わせに使う環境用ゼロガスは、二酸化硫黄を0.005vol ppm以下に抑えています

容器・充填量・充填圧力の見方

  • 容器容量は入れ物の容積です。標準ガスは3.4L・10L・47Lの容器が多く、日本酸素と高圧ガス工業は3つとも選べます
  • 充填量は中に詰める量です。住友精化のSO2 PUREは、3.4Lに4kgです
  • 標準ガスの充填圧力は、薄めるガスで上限が決まります。日本酸素は窒素ベースの最高充填圧力を14.7MPaとしています
  • 住友精化の40〜45ppm品は11.76MPa、高千穂化学工業の混合ガスは11.8MPaが原則です
  • 高純度品は液化ガスです。20℃の蒸気圧は330kPaで、容器の大きさから圧力を推定しません

性質と毒性:匂いに頼らない

二酸化硫黄の沸点は-10.0℃で、空気より重く、相対蒸気密度は2.2です。臭気閾値は0.3〜3ppmです。レゾナックは高圧ガスの液化ガス・毒性に分けています。使う前に、製品のSDSと換気・検知の設備を確かめます。

有効期限と容器の返却

  • 日本酸素のJCSS品の有効期限は、250ppm未満が6か月、250ppm以上1vol%以下が1年です
  • 日本酸素の一般標準ガスは、分析日から180日または365日です。250ppm未満は180日です
  • 高圧ガス工業の容器の貸与期間は1年です。期間を過ぎると容器使用料がかかります
  • 高圧ガス工業は、JCSSの証明書には有効期限が書かれていないので、登録事業者の決めた期限を守って使うよう案内しています

価格の見積もりで伝えること

掲載した製品は、どれも公開価格がありません。ガスの価格と容器の費用を分け、次の条件をそろえて見積もりを取ります。

  • 材料用か校正用かと、使う工程・測定器
  • 高純度品なら純度と不純物の条件、標準ガスなら濃度・薄めるガス・⁠⁠⁠精度
  • JCSS証明書が要るかどうか
  • 容器容量、充填量、容器弁の条件
  • 使う予定日、本数、容器の貸与・返却・運搬の費用

出典は比較ページ末尾のメーカー公式資料と環境省の資料です。確認日は2026年10月29日です。

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