二酸化硫黄とは・選び方|亜硫酸ガスとの違い、高純度品とJCSS・一般標準ガス、濃度・容器・有効期限
半導体の

この
二酸化硫黄
二酸化硫黄とは
二酸化硫黄の
二酸化硫黄の
材料用は純度、校正用は濃度で選ぶ
材料に
- 住友精化の
SO2 PUREは、 純度が 99.9%を 超えます。 3.4L 容器に 4kg、 10L 容器に 12kgを 詰めます - レゾナックの
高純度亜硫酸ガスは、 半導体の 絶縁膜 エッチングに 使い、とくに 有機膜や カーボンマスクの 加工に 向きます - 住友精化の
液化亜硫酸ガスは、 ガラス表面処理や 繊維質の 分解に 使う 工業原料です。 純度と 容器は 公開されていません
JCSS標準ガスと一般標準ガスの違い
JCSS標準ガスは、
- 高圧ガス工業の
JCSS-MRA標準ガスは、 窒素で 薄めた 二酸化硫黄を 0.5ppmから 1vol%まで 作ります。 不確かさは 濃度と 等級で±1.0〜5.0%です - 高千穂化学工業の
JCSS標準ガスも、 0.5ppmから 1%までが 範囲です。 0.5〜1ppmは 2級だけで、 精度は±5.0%です - 日本酸素の
一般標準ガスは、 0.1ppmから 18%まで 濃度を 指定して 作ります。 窒素と 空気以外で 薄める ときは 2000ppm以上です - 住友精化の
一般標準ガスは、 40〜45ppmから 1800〜1900ppmまで、 濃度帯を 決めた 品を 並べています
大気用と排ガス用で濃度帯が違う
大気の
- 高圧ガス工業の
大気汚染測定用は、 1〜100ppmで 充填圧力 14.7MPaです - 同じく
煤煙測定用は 1〜1000ppmで、 煙突の 排ガスのように 濃い 測定に 向けた 濃度帯です - ゼロ合わせに
使う 環境用ゼロガスは、 二酸化硫黄を 0.005vol ppm以下に 抑えています
容器・充填量・充填圧力の見方
- 容器容量は
入れ物の 容積です。 標準ガスは 3.4L・ 10L・ 47Lの 容器が多く、 日本酸素と 高圧ガス工業は 3つとも 選べます - 充填量は
中に 詰める 量です。 住友精化の SO2 PUREは、 3.4Lに 4kgです - 標準ガスの
充填圧力は、 薄める ガスで 上限が 決まります。 日本酸素は 窒素ベースの 最高充填圧力を 14.7MPaとしています - 住友精化の
40〜45ppm 品は 11.76MPa、 高千穂化学工業の 混合ガスは 11.8MPaが 原則です - 高純度品は
液化ガスです。 20℃の 蒸気圧は 330kPaで、 容器の 大きさから 圧力を 推定しません
性質と毒性:匂いに頼らない
二酸化硫黄の
有効期限と容器の返却
- 日本酸素の
JCSS品の 有効期限は、 250ppm未満が 6か月、 250ppm以上 1vol%以下が 1年です - 日本酸素の
一般標準ガスは、 分析日から 180日 または 365日です。 250ppm未満は 180日です - 高圧ガス工業の
容器の 貸与期間は 1年です。 期間を 過ぎると 容器 使用料が かかります - 高圧ガス工業は、
JCSSの 証明書には 有効期限が 書かれていないので、 登録事業者の 決めた 期限を 守って 使うよう 案内しています
価格の見積もりで伝えること
掲載した
- 材料用か
校正用かと、 使う 工程・ 測定器 - 高純度品なら
純度と 不純物の 条件、 標準ガスなら 濃度・ 薄める ガス・精度 - JCSS
証明書が 要るかどうか - 容器容量、
充填量、 容器弁の条件 - 使う
予定日、 本数、 容器の 貸与・ 返却・ 運搬の費用
出典は
二酸化硫黄のメーカー5社を比べる
種類・濃度・価格を
工業用の高純度の
工業用の高純度ガスと
計測機器・センサーガス検知器の携帯型・
