PVAスポンジとは？半導体・電子部品の洗浄と水切りに使うPVAスポンジの種類（吸水ローラー・洗浄ブラシ・シート）と、気孔径・清浄度・価格の選び方

PVAスポンジとは

PVAスポンジは、PVAをホルマール化したポリビニルホルマール（PVFM）に、つながった気孔をつくった多孔質のスポンジです。イーグル化成の資料では、体積のおよそ90%が気孔で、乾燥時の自重の約10倍の水を吸います。乾いている間は硬く、水を含むと柔らかくなります。

一体の樹脂なので、繊維のようなけばや抜け落ちがありません。そのため、半導体ウエハやフォトマスクの洗浄、プリント基板やガラスの水切り、クリーンルームの拭き取りに使われます。

比較ページには、日本の会社が自社で作るPVAスポンジを、各社の代表の品の単位で載せています。他社のPVAスポンジを加工・販売する会社の品、家庭用・洗車用のスポンジ、ウレタンなどほかの素材のスポンジは載せていません。

3つの種類

• 吸水ローラーは、平らな円筒形のスポンジを芯に付けたローラーです。洗ったあとの基板やガラスに上下から押し当てて回し、水を吸い取ります。例はイーグル化成の微細気孔HGタイプ、都ローラー工業のPVA-HG、エー・シーケミカルのACスポンジPです
• 洗浄ブラシは、表面に柔らかい突起を並べたローラーやシートです。CMP後のウエハや、フォトマスクの洗浄に使います。例はアイオンのブラシローラー・ブラシシート、エー・シーケミカルのACスポンジSP、イーグル化成のエンボスタイプです
• シート・ブロックは、板や角の形のスポンジです。乾いて硬いうちに好きな形に切り出し、拭き取りや手作業の洗浄に使います。例はアイオンのベルイーターDシリーズです

気孔径の選び方

• 水跡や乾燥むらを嫌う水切りなら、気孔の細かいものを選びます
• イーグル化成の吸水ローラーは、標準タイプが平均孔径130μm、HGタイプが80μm、NSタイプが70μmです
• 都ローラー工業のPVA-HGは、気孔が60μmです。エー・シーケミカルにも60μm品があります
• アイオンのベルイーターDシリーズは、気孔径の違う複数の品番から選べます

高清浄グレード

• アイオンのブラシローラーには、高い清浄度のSCLグレードがあります
• イーグル化成は、クリーンルームでの二次洗浄（C処理・UC処理）で清浄度を選べます
• アイオンのビーファインは、気孔生成剤を使わない製法で清浄度を上げたPVAスポンジです
• エー・シーケミカルのACスポンジSPは、クリーンルーム仕様に対応した精密洗浄用です

長尺ローラーと芯材

• イーグル化成の長尺タイプは、スポンジ長3500mmまで作れます
• エー・シーケミカルのACスポンジPは、外径300mm×面長5500mmの実績があります
• イーグル化成のHGタイプは、研磨加工で外径寸法公差±0.5mm、円振度0.1mm以下にできます
• 芯は、塩ビパイプのほか、ステンレス・アルミ・カーボンに接着できるメーカーがあります。アイオンは金属芯や特殊な管を使う場合、芯の支給を求めています

使い方と手入れ

• ワークの上下を吸水するならローラーを上下に2本、上側だけなら上側1本で足ります
• ローラーは押されたときに水を吐き出すので、水を含んだままでも吸水を続けます
• アイオンは、ベルイーターやシグナスローラーが強アルカリ液でも使えると案内しています。メッキ液などは液の条件を伝えて確かめます
• アイオンは、PVAスポンジを燃やしても有害物質は出ないと案内しています

値段と見積もり

• 載せた7製品は、どれも値段を公式に出していません
• 見積もりでは、形（ローラー・ブラシ・シート）、外径と面長、芯材、気孔径、清浄度のグレード、本数を伝えると早く返ってきます
• ローラーは芯に接着して仕上げるので、手元の芯を支給するかも先に決めておきます