フッ化水素とは？フッ化水素酸・フッ酸との違いと、半導体用・工業用・試薬の選び方

フッ化水素とは

半導体基板の洗浄やガラス・金属の表面処理、フッ素化合物の製造原料に使う化学品です。ステラケミファは、シリコン酸化膜をエッチング除去する性質を、半導体の洗浄工程で使うと説明しています。

比較ページでは無水品と水溶液を分けています。フッ化アンモニウム・フッ化水素アンモニウム、ホウフッ化水素酸・ケイフッ化水素酸は別物質です。BHFなどの混酸や家庭用完成品も含めません。

フッ化水素酸・フッ酸との違い

水溶液をフッ化水素酸・フッ酸と呼び、無水品と区別します。

• セントラル硝子の無水品は、品位99.9%以上です。希釈品55%品の規格は55〜60%で、製品名と保証範囲が異なります
• 三菱マテリアル電子化成の無水品は、濃度99.9%以上、コンテナ18,000kgです。フッ素系ガス・樹脂などの原料に使います

用途で分ける4つの区分

• 無水品は、フッ素化合物の製造原料です。濃度とコンテナの受入条件を確認します
• 工業用水溶液は、金属の酸洗浄やガラスの表面処理用です。ステラケミファの55%品は、液晶用ガラスの薄化エッチングにも使います
• 半導体用水溶液は、基板のエッチング・洗浄向けの高純度品です。金属イオンや微粒子の品質まで照合します
• 分析用試薬は、試験研究向けの小容量品です。特級と微量金属分析用を分け、不純物上限を分析条件と照合します

濃度と不純物の規格

HF濃度が高くても、金属などの不純物が少ないとは限りません。一般物性値、SDSの組成、保証規格を分けて読みます。

• ダイキンの製品名はHF49%・HF50%です。技術資料の49mass%と50mass%は一般物性値です。アニオン系物質・金属イオン・微粒子を検査し、個別品質は問い合わせとしています
• ステラケミファのグレードは50% SAです。SDSには組成の値は製品規格値ではないと明記されています
• 森田化学工業はElectronic gradeを案内しています。公開ページでは濃度・不純物規格を確認できず、SDSも申込制なので、発注前に確認します

分析用試薬の選び方

• 富士フイルム和光純薬の製品コード084-10675は、試薬特級の500g品です。規格はHF濃度46.0〜48.0%（質量分率）、Fe 0.5ppm以下、Cl 5ppm以下です
• 関東化学の製品コード18083-3Bは、Ultrapur-100の500mL品です。滴定による純度は46.0〜51.0%、Feは200ppt以下で、清浄なHDPE容器を採用しています

ppmとpptでは単位が違います。測定対象の元素について、試薬から持ち込む量と容器からの汚染を確認します。

荷姿・価格と取り扱い

• 関東化学の製品コード18089-00は、500mLで4,300円（税抜）⁠で⁠す⁠。⁠同⁠じ500mLでも18083-3Bは、19,000円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• 富士フイルム和光純薬の製品コード084-10675は、500gで4,600円（税抜・希望納入価格）⁠で⁠す⁠。mLとgをそのまま同じ量として比べないでください
• 工業用のローリーやコンテナは、濃度・グレード・納入量・荷姿をそろえ、配送条件も合わせて見積もります

価格は2026年10月28日の公式表示です。仕様と価格の出典は比較ページの公式資料一覧⁠にまとめています。

フッ化水素酸はガラスや一部の樹脂・ゴムを侵します。容器・配管材、換気、保護具、施錠保管は、納入品のSDSと職場の管理手順で確認してください（厚生労働省のモデルSDS）⁠。