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GUIDE / CARBON-MONOXIDE

一酸化炭素ガスとは?化学合成・半導体・校正で使うCOガスの純度・不純物・標準ガスの違いと選び方

化学品の合成原料、半導体のドライエッチング、ガス検知器・分析計の校正に使う一酸化炭素ガス(CO)⁠に⁠つ⁠い⁠て⁠、高純度品・工業用・標準ガスの違い、不純物の上限、ボンベの容量と充填圧力、JCSSの標準ガス、安全の注意を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年10月29日更新

この記事の答え

一酸化炭素ガス(CO)は⁠、化学品の合成原料や半導体のエッチング、計測器の校正に使う、毒性があって燃えるガスです。純度を数字で出す高純度品、合成原料や熱処理に使う工業用、窒素などと決めた濃度で混ぜた標準ガスに分かれます。選ぶときは「何に使うか」「不純物の上限をどこまで決めるか」「どの容器・どの受け方で使うか」の3つを先に決めます。

一酸化炭素ガスとは

一酸化炭素は、無色・無臭で燃える、毒のあるガスです。高圧ガス工業の資料では、天然ガスや石油を触媒で改質して一酸化炭素と水素にし、深冷分離で水素と分けて取り出すと説明しています。沸点は-191.5℃で、ガス比重は0.967と空気よりわずかに軽いガスです。

比較ページには、日本に法人があり、自社または自社グループで製造・精製・混合・充填する一酸化炭素を、グレードや濃度の単位で載せています。他社のガスを売る商社・販売店、一酸化炭素を測る検知器・警報器、二酸化炭素レーザー用の混合ガスは載せていません。

何に使うか

  • 高圧ガス工業は、ホスゲン・ポリカーボネイト・ポリウレタン・オキソアルコール・イソシアネート・ブタンジオールなどの合成原料ガスとしています
  • 日本酸素は、半導体材料ガスとしてドライエッチングとクリーニングに使う一酸化炭素を出しています
  • 日本エア・リキードは、農業・化学・医薬品・繊維などで、表面硬化や炉の焼成、染料の製造に使うガスとしています
  • 窒素と混ぜた標準ガスは、ガス検知器・分析計や自動車排気ガステスターの校正に使います

3つの区分

  • 高純度品は、日本酸素の一酸化炭素(>99.995%)、住友精化のCO UHPとCO PURE、高千穂化学工業のRグレードです
  • 工業用・原料用は、高圧ガス工業の合成原料用、日本エア・リキードのスペシャリティガス、エア・ウォーターのオンサイト供給です
  • 標準ガスは、日本酸素のスプレー缶、高圧ガス工業のJCSS標準ガス、東京高圧山崎の標準ガスです
  • 区分は公式の純度の表記と使い道で分けたもので、メーカーのグレード名の上下とは限りません

純度だけでなく不純物を見る

純度の総値と、不純物の上限は別々に読みます。とくに水分・水素・酸素の上限で差が出ます。

  • 住友精化のCO PUREは純度>99.9%で、酸素・二酸化炭素・水素がそれぞれ100ppm未満、水分は10ppm未満です
  • 住友精化のCO UHPは純度>99.95%で、水素は15ppm未満、メタンは1ppm未満、水分は3ppm未満です
  • 日本酸素の一酸化炭素は純度>99.995%で、不純物の上限はカタログで確かめます
  • 高千穂化学工業のRグレードは純度99.95%です

ボンベの容量と充填圧力

  • 住友精化は、3.4L・10L・47Lの容器に9.80MPaで詰めます。容器弁はB・W22・14・OLです
  • 日本酸素の一酸化炭素は、48Lと9.4Lの容器です
  • 高千穂化学工業のRグレードは、容器バルブが22mmの左ねじで、圧力調整器はTUSシリーズです
  • 容器のLは内容積で、詰めたガスの量とは別です。見積もりでは両方を書きます

標準ガスの頼み方

  • 計量証明には、JCSSの標準ガスを使います。高圧ガス工業のJCSS標準ガスは窒素ベースで、3volppmから15vol%まで作れます
  • 一酸化炭素を含む標準ガスは、充填圧力が低めです。高圧ガス工業は9.81MPa、住友精化は9.80MPa、東京高圧山崎は9.8MPaとしています
  • 東京高圧山崎の標準ガスは、濃度・圧力・時間の3点を保証し、分析値は原則として表示値の±2%以内です
  • 検知器を手軽に合わせるなら、日本酸素のスプレー缶(0.6L・0.8MPa)があります。注文は6本・10本・12本の単位です

量を使う工場の受け方

  • エア・ウォーターは、工場に置いた発生装置で一酸化炭素を作って精製し、オンサイトで届けます
  • 天然ガス・二酸化炭素・酸素からH2/CO=1:1の混合ガスを作る装置で、熱処理のガスにも使います
  • 純度と量は公式ページに無いので、問い合わせて決めます

値段と見積もり

  • このページの製品は、どれも公式資料に値段を出していません
  • 見積もりでは、用途、純度、不純物の上限、容器の大きさ、本数、納める場所を伝えます。標準ガスは濃度とベースガスも伝えます

安全の注意

  • 吸うと血液のヘモグロビンと結びつき、酸欠と同じ状態になります。高圧ガス工業の資料では、1600ppmを2時間吸うと死亡することがあります
  • 空気中で12.5〜74vol%の範囲で爆発します。火の気を近づけません
  • 高千穂化学工業のSDSでは、鉄・ニッケルと反応してできる金属カルボニルは毒性が強いとしています。配管と容器の材質を確かめます
  • 無色・無臭で気づけないので、使う場所には検知器を置き、換気をよくします
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