フッ化アンモニウムとは？BHFとの違い、特級と半導体用溶液の選び方

フッ化アンモニウムとは

化学式はNH4Fで、ふっ化アンモニウムとも書きます。CAS RNは12125-01-8、分子量は37.04です。森田化学工業の資料では白色の吸湿性結晶で、20℃の水100gに45.25g溶けます。ステラケミファは、半導体製造工程のウェット洗浄と、機能性洗浄薬液などの原料と案内しています。

フッ化アンモニウムの比較ページでは、半導体用の溶液を作るフッ素化合物メーカーと、自社の規格で試薬化するメーカーの自社品をそろえています。原料から試薬化まで、すべての会社が一貫して作るという意味ではありません。フッ化水素酸、バッファードフッ酸、酸性フッ化アンモニウム、他社品だけを売る販売店は対象外です。

バッファードフッ酸（BHF）⁠と⁠の⁠違⁠⁠⁠⁠い

• BHFは、50%HF水溶液と40%NH4F水溶液を配合した混合水溶液です
• BHFは、半導体やFPDの製造で、主に絶縁膜のエッチングや洗浄に使います
• フッ化アンモニウムはBHFの原料にもなる単体の薬品で、品番とCAS RNで分けて発注します

半導体用・特級・EPの選び方

• 半導体用の溶液は、工程の量で受けます。ステラケミファの40% SAは5kgのボトルから18,000kgのコンテナまで、森田化学工業の液は10kg（5kg×2）⁠か⁠ら9,000kgまでです
• 特級試薬は、試験研究や不純物を嫌う合成に使います。和光の017-03095、関東化学の01293-00、純正化学の64025-0401、ナカライテスクの02506-85、米山薬品工業の37322を比べます
• 金属不純物を嫌うなら、関東化学の3N品01293-33が純度99.9%超です。包装は25gです
• EPと結晶は、量と値段を優先するときに使います。米山薬品工業の04251は純度95%、森田化学工業の結晶は10kg包装です

規格書の読み方

• 純度は、乾燥後の値かどうかと試験方法をそろえて読みます。ナカライテスクの02506-85は、乾燥後98.0%以上を中和滴定で決めています
• 塩化物の上限は、和光の017-03095が0.003%以下、純正化学とナカライテスクが0.005%以下です
• けいふっ化物の上限は、和光とナカライテスクが0.2%以下、純正化学が1.0%以下です
• 純正化学の規格書は、規格項目と規格値が別の並びで書かれています。順番を合わせて読みます
• ステラケミファの40% SAの濃度40%はSDSの含有量で、製品規格値ではありません。規格は見積もりのときに取り寄せます

包装と価格

• 特級の500gでは、和光の017-03095が希望納入価格13,500円税抜、関東化学の01293-00が16,000円税抜、ナカライテスクの02506-85が定価13,650円税抜です
• 純正化学の64025-0401は10,300円、米山薬品工業の37322は14,000円で、製品ページに税区分の記載がありません
• EPでは、米山薬品工業の04251が500gで5,000円です
• 3N品の01293-33は、25gで7,800円税抜です
• 半導体用の溶液と森田化学工業の結晶は、製品ページに値段が無く、見積もりで決めます

保管と法規

結晶は吸湿性があるので、ふたを閉めて乾いた所にしまっておきます。和光の017-03095の保存条件は室温です。ステラケミファの40% SAは-20℃未満で結晶が出るので、冬は置き場の温度を見ます。SDSは容器を密閉しておくよう求めています。

関東化学の製品ページでは、毒劇法の劇物、安衛法第57条の表示対象物、化管法の第一種指定化学物質です。純正化学は劇物の包装等級Ⅲとしています。採用品の最新版SDSを読み、作業手順を決めます。

仕様と価格は比較ページの各社公式製品ページ・規格書・SDS、性質は森田化学工業と関東化学の製品ページ、用途はステラケミファの製品ページによります。確認日は2026-11-01です。