紫外線照射装置とは？UV硬化・洗浄・表面改質に使う紫外線照射装置の種類（ランプ式・UV-LED・エキシマ）と⁠、波長・照度・照射幅の選び方

紫外線照射装置とは

紫外線照射装置は、紫外線を当てて、UVインキ・接着剤・塗料・樹脂を固めたり、基板やフィルムの表面の有機物を落としたりする装置です。印刷・電子部品・半導体・液晶の工場や、研究所の試験で使います。

比較ページには、日本の会社が自社で作る紫外線照射装置を、代表の型の単位で載せています。UV-LEDのスポット光源・殺菌灯・UVプリンタ・露光装置は載せていません。

3つの種類

• ランプ式は、高圧水銀ランプやメタルハライドランプで固めます。例は岩崎電気のコンベア付UV照射器、ジャテックのJU-C1500、オーク製作所のHUV-100です
• UV-LED式は、UV-LEDを線や面に並べて照らします。例は岩崎電気の面照射UV-LEDモジュール、シーシーエスのHLDLシリーズと卓上コンベアです
• エキシマ・低圧UV式は、表面の有機物を光で分解して落とします。例はウシオ電機のHPV-STシリーズ、東芝ライテックの高出力エキシマUV照射ユニット、浜松ホトニクスのEX-86U、オーク製作所のHMW-615N-4です

UV-LEDとランプの違い

• UV-LEDは、ランプより消費電力が低く、瞬時に点けたり消したりできます
• UV-LEDの波長は1つで、熱線を含みません。365nm・385nm・395nm・405nmが中心です
• ランプ式は、発光長の長いランプで広い幅を照らせます。ランプの発光長は、短いもので70mm、長いもので2m以上です
• ランプの強さは、発光長1cmあたりのW数（W/cm）で表します。ジャテックのJU-C1500は、80〜120W/cmの間で無段階に変えられます

エキシマ光で洗う・改質する

• エキシマランプは172nmの光を出します。光と、そこから生まれるオゾンなどの活性酸素種が、表面の有機物を分解して落とします
• 東芝ライテックの高出力エキシマUV照射ユニットは、ランプ表面照度が170mW/cm²以上です
• 浜松ホトニクスのEX-86Uは、照射強度が50mW/cm²以上で、電源を内蔵した小型の型です
• オゾンが出るので、排気か窒素パージを用意します。オーク製作所のHMW-615N-4は、どちらの方式でも使えます

照射幅と搬送

• 岩崎電気のコンベア付UV照射器は、ベルト幅600mmで、速度は2〜20m/minです
• シーシーエスの卓上コンベアは、ベルト幅250mmで、有効照射幅は170mmです
• 東芝ライテックのエキシマユニットは、有効発光長が120〜1540mmまであります

冷却と寿命

• 空冷は水の配管が要りません。浜松ホトニクスのEX-86Uは内蔵ファンの強制空冷です
• 東芝ライテックの高出力エキシマUV照射ユニットは水冷です
• 浜松ホトニクスのEX-86Uは、保証寿命が1,000h、設計寿命が2,000hです。照射強度が初期値の70%に下がった時点を寿命としています

値段と安全

• このページの製品は、どれも公式に値段を出していません。どの社も見積もりです
• 紫外線は目と肌に当てないようにします。ウシオ電機は遮光・保護メガネの着用を勧めています