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静電気試験機のメーカー4社比較【2026年】

静電気試験機は、電子機器や半導体に静電気を放電し、
壊れないか、誤動作しないかを調べる試験器です。

ABOUT

静電気試験機とは

静電気試験機とは、電子機器や半導体に静電気を放電し、
壊れないか、誤動作しないかを調べる試験器です。
機器に当てる放電ガン型と、半導体の端子にかける型があります。
静電気放電シミュレータ、ESD試験器とも呼びます。

製品の特長

  • 試す相手で型が違う(電子機器・パッケージ・ウェーハ)
  • 放電の波形を規格で決めている(IEC 61000-4-2、JEDEC、JEITAなど)
  • 電圧を変えて強さを調べられる(0.20kV〜30.0kVの型もある)

使うメリット

  • 静電気の不具合を出荷前に見つけられる(誤動作や破壊を社内で再現する)
  • 規格の試験を社内で回せる(開発の途中で何度も試せる)
  • 保護回路の弱い所を調べられる(ウェーハの上でも試せる型がある)

選ぶときに注意すること

  1. 価格は公式に出ていない。各社に見積をとる
  2. 湿度で結果が変わる。気中放電は相対湿度30〜60%で試す
  3. 高い電圧を扱う。手順を決めてから試す
  4. 試験の前に、試験器の状態を点検する
  5. 試す規格を先に決める。機器用と半導体用で波形が違う

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとデータシートによる。試験の条件はノイズ研究所の資料、試験方法は村田製作所の解説による。

LIST

静電気試験機の比較表

静電気試験機の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
静電気試験機8製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み価格

放電ガン型(機器用)

2製品
株式会社ノイズ研究所静電気試験器 ESS-PS1向いている所:大型機器の置き場所へ持ち出して試す現場に製品の詳細を見るメーカー公式サイトnoiseken.co.jp—公式資料で確認できず

本体がバッテリーで動くので、大型機器の置き場所まで持ち出して試験できます。本体は約3.0kgで、放電ガンにカラー液晶タッチパネルが付いています。連続使用時間は約7時間で、使用条件で変わります。

要見積
株式会社ノイズ研究所静電気試験器 ESS-S3011A向いている所:据え置きで機器のEMC評価を続ける試験室に製品の詳細を見るメーカー公式サイトnoiseken.co.jp—公式資料で確認できず

CRユニットと放電カップの組み合わせミスを、本体の認識機能で防げる据え置き型です。接触放電と気中放電を0.20kV〜30.0kVの範囲で試せます。プログラムで条件を順に流せるので、長い試験をまとめて回せます。

要見積

パッケージ用(半導体デバイス)

3製品
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社CDM試験システム Orion3向いている所:CDM試験だけをロボットで繰り返す評価室に製品の詳細を見るメーカー公式サイトthermofisher.com—公式資料で確認できず

CDM試験に絞った床置きのロボット試験機です。2台の高解像度カメラで放電ピンを合わせ、ピッチ0.4mm未満の部品まで試験できます。放電を検出する回路があり、放電が入らなかったピンを知らせます。

要見積
東京電子交易株式会社ESD・CDM・ラッチアップ試験機 モデル1200ECL向いている所:ESDとCDMとラッチアップを1台で試す部署に製品の詳細を見るメーカー公式サイトtet.co.jp—公式資料で確認できず

ESD、CDM、ラッチアップの試験機能を後から足せる全自動機です。最大256ピンで、ESD部は8000V、CDM部は4000Vまでかけられます。ロボットに印加ヘッドを載せ、LED部品から多ピンデバイスまで試験できます。

要見積
阪和電子工業株式会社全自動の静電破壊装置 HED-N5000-DCPC向いている所:多ピンの半導体を全自動で試す開発と品質保証に製品の詳細を見るメーカー公式サイトhanwa-ei.co.jp—公式資料で確認できず

最大8個のデバイスを試験でき、測定ピン数は最大1024ピンの全自動機です。ラッチアップ試験はパルス電流法・電源過電圧法・ESD印加法で行えます。破壊判定はDC測定で、オプションでファンクション試験を足せます。

要見積

ウェーハ用(ウェーハ・チップ)

3製品
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社2ピンESD試験システム Pegasus向いている所:保護回路をウェーハの上で詳しく調べる開発に製品の詳細を見るメーカー公式サイトthermofisher.com—公式資料で確認できず

ウェーハプローブで2端子につなぎ、保護回路の特性を調べる2ピン試験機です。HMMとHBMは±15V〜12kV、MMは±50V〜2kVの範囲で試せます。ピン数の多い全自動機の結果を補うデータ取りにも使えます。

要見積
東京電子交易株式会社半自動ESDテスタ Ecdm-400SW向いている所:ウェーハとチップのESD試験を低コストで始める製品の詳細を見るメーカー公式サイトtet.co.jp—公式資料で確認できず

試験端子を手で選んだ後は、破壊耐量の測定まで自動で進む半自動のESDテスタです。ウェーハとチップに加えて、パッケージ品も試験できます。プログラムとDUTボードを用意しなくて済むので、評価の期間を縮められます。

要見積
阪和電子工業株式会社Wafer ESD試験器 HED-W5300D向いている所:大口径Waferの上でESD耐量を測る開発に製品の詳細を見るメーカー公式サイトhanwa-ei.co.jp—公式資料で確認できず

Waferを乗せるステージが自動で動く、全自動のWafer ESD試験器です。300mmクラスでも、ステージに乗せるだけで測れます。一般のパッケージ品も同じ装置で試験できます。

要見積
Q&A

静電気試験機選びで、よくある疑問

購買担当の疑問静電気試験機の価格は、いくら?

このページの8製品は、どれも価格を公式に出していません。機器用の放電ガン型も半導体用も、各社に見積をとって比べます。

設備担当の疑問静電気試験機の種類と違いは?

試す相手で3つに分かれます。ノイズ研究所のESS-S3011Aのように機器に当てる放電ガン型、東京電子交易のモデル1200ECLのようにパッケージの半導体を試す型、阪和電子工業のHED-W5300Dのようにウェーハの上で試す型です。

設備担当の疑問HBMとMMとCDMの違いは?

どれも半導体の静電気試験の波形で、HBMは人体モデル、MMはマシンモデル、CDMはデバイス帯電モデルです。東京電子交易のモデル1200ECLは3つとも試せて、サーモフィッシャーサイエンティフィックのOrion3はCDMに絞った機種です。

設備担当の疑問IEC 61000-4-2の試験に使えるのはどの機種?

このページではノイズ研究所のESS-S3011AとESS-PS1です。規格の試験器は150pF、330Ωで、接触放電8kV、気中放電15kVまで出せるものと決まっています。両機種とも0.20kV〜30.0kVまで出せます。

設備担当の疑問接触放電と気中放電の違いは?

IEC 61000-4-2が決める試験電圧が違います。ESS-S3011AのIEC標準試験モードでは、接触放電が2.0・4.0・6.0・8.0kV、気中放電が2.0・4.0・8.0・15.0kVです。ESS-S3011AとESS-PS1は両方の放電を選べて、気中放電では放電の有無を本体で確かめられます。

工場長の疑問持ち運べる静電気試験器はある?

ノイズ研究所のESS-PS1は本体がバッテリーで動き、本体は約3.0kg、連続使用時間は約7時間です。モビリティ機器や大型の医療機器を置き場所で試せます。

設備担当の疑問ウェーハのままESD試験はできる?

できます。阪和電子工業のHED-W5300Dは300mmクラスのWaferをステージに乗せて測り、東京電子交易のEcdm-400SWはプローバと組み合わせて測ります。サーモフィッシャーサイエンティフィックのPegasusは2ピンの接続で試します。

設備担当の疑問多ピンの半導体を試す機種は?

阪和電子工業のHED-N5000-DCPCは最大1024ピンで、最大8個のデバイスを試験できます。東京電子交易のモデル1200ECLは最大256ピンです。

施設管理の疑問試験室の温度と湿度はどう決める?

IEC 61000-4-2では、気中放電試験を周囲温度15〜35℃、相対湿度30〜60%で行います。ノイズ研究所の資料は、なるべく絶対湿度の低い環境で試すことを勧めています。

施設管理の疑問日々の点検はどうする?

ノイズ研究所は、試験器のプリチェック機能、ESD電圧メータでの電圧測定、電流波形の観測の3つを始業前の点検として示しています。ESS-S3011AとESS-PS1はプリチェック機能を備えています。

TYPES

静電気試験機の種類の違い

放電ガン型(機器用)

放電ガンを電子機器に当て、接触放電か気中放電で静電気を加える型です。人が帯電して触れた場面を再現し、誤動作や機能の低下を調べます。本体を据え置く型と、バッテリーで持ち出す型があります。

向いている使い方

  • 完成した電子機器のEMC評価
  • IEC 61000-4-2の試験
  • 大型機器を置き場所で試す

根拠:帯電した人体が金属を手に持ち、電子機器に放電をした場合を想定し、その時発生する電流波形をシミュレートする(出典4)

この種類の2製品を表で見る

パッケージ用(半導体デバイス)

パッケージの半導体の端子に、HBMやMMやCDMの波形をかける型です。ピンの組み合わせを切り替え、自動で試験を進める機種が中心です。ラッチアップも1台で試せる機種があります。

向いている使い方

  • 半導体の出荷前の信頼性評価
  • 多ピンのデバイスを自動で試す
  • CDM試験をロボットで行う

根拠:デバイスを対象とした代表的な試験方法にはHBM(Human Body Model:人体モデル)(出典14)

この種類の3製品を表で見る

ウェーハ用(ウェーハ・チップ)

パッケージにする前のウェーハやチップの上で、プローブを当ててESD耐量を測る型です。保護回路の開発で、早い段階の評価に使います。手で端子を選ぶ半自動の機種と、ステージが動く全自動の機種があります。

向いている使い方

  • 保護回路の開発と解析
  • パッケージ前のESD耐量の確認
  • プローバと組み合わせる

根拠:Wafer上でHBM,MMの試験ができる装置です。(出典7)

この種類の3製品を表で見る
MAKERS

静電気試験機の主なメーカー4社

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社

特徴
米国サーモフィッシャーサイエンティフィックの日本法人。 分析機器などの輸出入販売と保守サービスを行う。
強み
  • 実験系の立ち上げを代わりに組む
  • 次世代シーケンサーの代行分析と解析

東京都

東京電子交易株式会社

特徴
静電気とパルス技術の試験装置を手がける、東京都立川市の会社です。

東京都

株式会社ノイズ研究所

特徴
EMCノイズ試験器を製造・販売する、神奈川県相模原市の会社です。

神奈川県

阪和電子工業株式会社

特徴
半導体評価用の測定機器と検査機器を開発・製造・販売する、和歌山市の会社です。

和歌山県

出典
  1. ノイズ研究所 静電気試験器
  2. ノイズ研究所 ESS-S3011A
  3. ノイズ研究所 ESS-PS1
  4. ノイズ研究所 IEC 61000-4-2の試験概要
  5. ノイズ研究所 3つの始業前点検方法
  6. 阪和電子工業 静電破壊装置
  7. 阪和電子工業 Wafer ESD試験器
  8. 東京電子交易 静電気の信頼性試験 装置一覧
  9. 東京電子交易 モデル1200シリーズ
  10. 東京電子交易 Ecdm-400SW
  11. サーモフィッシャーサイエンティフィック ESD検査
  12. サーモフィッシャーサイエンティフィック Orion3
  13. サーモフィッシャーサイエンティフィック Pegasus
  14. 村田製作所 ESD試験とは
掲載基準

電子機器や半導体の静電気放電への強さを調べる試験機(機器用の放電ガン型、パッケージの半導体用、ウェーハ用)で、会社が自社で作り、公式の製品ページで今案内している型を1社2製品まで載せています。除電装置、静電気を測るだけの計測器、海外メーカー品の取り扱い(東京電子交易のBarth社製TLPテスタなど⁠)⁠は載せていません。EMC Partner製品を扱う日本オートマティック・コントロールと、EMS61000-2Aを扱うアンテナテクノロジーは自社製造を公式で確かめられず除きました。アメテックは日本語の製品ページを確かめられず除きました。阪和電子工業は仕様の数字を公開ページに載せていない項目があり、記載なしとしています。

静電気試験機を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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