クリーンルーム用のエキゾーストクリーナのメーカー2社比較【2026年】

SMCのAMPとCKDのFAC200は、どちらも公式サイトに定価を出していません。販売店か各社の営業所で見積もりを取ります。接続口径と最大処理流量を決めてから聞くと、型式が絞れて答えが早く出ます。部屋のクラスも伝えると、合う型式を案内してもらえます。交換用のエレメントの値段も、あわせて聞いてください。

選べる幅が違います。SMCのAMPは、接続口径1/4・3/8・1/2・3/4で、最大処理流量200〜1,000L/minから選びます。CKDのFAC200は、R3/8・R1/2のおねじ式で、200L/minです。ろ過度は、どちらも0.01μmです。流量の大きい排気ならAMP、バルブに直接付けるならFAC200を見てください。

SMCのAMPとCKDのFAC200は、どちらもろ過度0.01μmです。回収形のSMCのAMC510とコガネイのEF600は0.3μmなので、それより細かいごみまで取ります。回収効率の数字は、2製品とも公式に出していません。部屋のクラスに合うかを、カタログで確かめてから選んでください。

SMCのAMPは、型式によって最大処理流量200〜1,000L/minです。CKDのFAC200は200L/minで、シリーズにはFAC10・FAC100・FAC3000もあります。CKDは、空気消費量を1.4倍した量を超える処理流量の機種を選ぶとしています。計算した量を超える型式を、シリーズの中から選んでください。

CKDのFAC200は、おねじ式で、バルブのRポートに直接付けられます。CKDのFACシリーズは、クラス10以下のクリーンルーム内で排気口に付けるだけで直接排気できます。シリーズには、プラグ形とモジュラー形もあります。SMCのAMPの取り付け方は、カタログで型式ごとに確かめてください。

SMCのAMPは、1/4・3/8・1/2・3/4の4つから選べます。CKDのFAC200は、R3/8とR1/2です。バルブの排気ポートの口径に合わせて選びます。口径の合う型式が無いときは、シリーズのほかの型式も見てください。CKDのFACシリーズには、FAC10・FAC100・FAC3000もあります。

CKDのFAC200は、消音機能が付いていると公式に書いています。SMCのAMPの消音効果は、カタログで確かめる値です。2製品とも、消音効果のdBの数字は公式のページで確かめられませんでした。音の大きさが気になる装置なら、見積もりのときに消音効果の値も聞いてください。CKDのFAC200は、ろ過度0.01μmです。

装置の外まで排気配管を引く手間を減らせます。CKDのFACシリーズは、クラス10以下のクリーンルーム内で排気口に付けるだけで直接排気できます。ろ過度0.01μmのエレメントで、排気のごみを取ってから部屋へ出します。配管を引きにくい装置や、排気の本数が多い装置で見てください。SMCのAMPも、ろ過度0.01μmです。

排気の速度が落ち、システムの機能も落ちます。SMCは、エキゾーストクリーナの目詰まりで排気ポートがふさがることがあるとして、誤作動しない安全設計を求めています。エレメントの交換時期は、型式ごとにカタログで確かめてください。交換用のエレメントを手元に置き、点検の表に区切りを書いてください。

装置のある部屋で選びます。クリーンルームの中ならクリーンルーム用、工場の機械ならオイルミスト回収形です。回収形のSMCのAMC510やCKDのFA531は、回収効率99.9%以上で、オイルをケースにためて抜きます。クリーンルーム用は、ろ過度0.01μmで、部屋の中へ直接排気します。